[实用新型]一种等离子体刻蚀装置和干法刻蚀设备有效
| 申请号： | 201620672052.8 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN205692795U | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 宫奎;白明基;段献学;李贺飞 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 刻蚀 装置 设备 | ||
【说明书】：
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