[实用新型]气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置

权利要求书

1.一种气浮平台，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括沿高度方向由下至上贴合叠放的进气层(10)和出气层(20)，所述进气层(10)的顶部形成有周向封闭的凹槽，该凹槽的底部形成有沿高度方向贯穿所述进气层(10)的进气孔(11)，以连接进气管接头(40)，所述出气层(20)上均匀地布设有沿高度方向贯穿所述出气层(20)的出气孔(21)，所述出气孔(21)通过所述凹槽与所述进气孔(11)连通。

2.根据权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述凹槽为多个，每个所述凹槽的底部形成有一个所述进气孔(11)。

3.根据权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述出气孔(21)以矩形阵列的形式设置在所述出气层(20)上。

4.根据权利要求3所述的气浮平台，其特征在于，所述凹槽包括多个长条形的键槽(12)，该键槽(12)沿所述气浮平台的长度方向延伸，所述凹槽还包括在宽度方向上相邻的两个所述键槽(12)之间的连通部(13)，所述进气孔(11)与所述连通部(13)相连通。

5.根据权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述进气层(10)和出气层(20)的宽度方向的边部分别均匀地设有多个通孔，以通过螺纹件紧固所述进气层(10)和出气层(20)。

6.根据权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述进气层(10)和出气层(20)之间还设有分流层(30)，所述分流层(30)的上下两端分别贴合所述出气层(20)和进气层(10)，所述分流层(30)上设有对应于所述出气孔(21)的分流孔(31)。

7.根据权利要求6所述的气浮平台，其特征在于，所述分流孔(31)的孔径小于所述出气孔(21)。

8.根据权利要求6所述的气浮平台，其特征在于，所述进气层(10)和分流层(30)之间涂有固定胶，所述进气层(10)、分流层(30)和出气层(20)的宽度方向的边部分别均匀地设有多个通孔，以通过螺纹件紧固所述进气层(10)、分流层(30)和出气层(20)。

9.一种气浮装置，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括基座和放置在该基座上的气浮平台，所述气浮平台为根据权利要求1-8中任意一项所述的气浮平台，所述气浮平台为矩形阵列的多个，并且相邻的所述气浮平台贴合设置。

10.一种玻璃基板传送装置，其特征在于，包括：

气浮装置，用于放置所述玻璃基板；

定位装置，用于在传送所述玻璃基板前将所述玻璃基板定位在所述气浮装置上；以及

移动装置，用于驱动所述玻璃基板沿所述气浮装置移动，

所述气浮装置为权利要求9所述的气浮装置，所述定位装置包括用于在长度方向上定位所述玻璃基板的第一气缸(50)，和在宽度方向上定位所述玻璃基板的第二气缸(60)，所述移动装置包括设置在所述气浮装置宽度方向的一侧的真空吸盘(70)，以从单侧吸附所述玻璃基板运动。

11.根据权利要求10所述的玻璃基板传送装置，其特征在于，所述第一气缸(50)为直线气缸，并且为四个，分别用于设置在所述玻璃基板的四角。

12.根据权利要求10所述的玻璃基板传送装置，其特征在于，所述第二气缸(60)为旋转气缸，并且为两个，分别用于设置在所述玻璃基板宽度方向上的一侧。