[实用新型]一种用于蓝宝石晶片检测的样品卡盘支撑装置

权利要求书

1.一种用于蓝宝石晶片检测样品卡盘的支撑装置，其特征在于在平台(2)的下方，安装两个卡盘支撑装置，在卡盘支撑装置上有两个带有中心孔的槽孔(8)，支撑杆(9)穿过槽孔(8)，在槽孔(8)内装有固定螺钉。

2.根据权利要求1所述支撑装置，其特征在于所述支撑杆(9)的端部，带有一个调节高度的螺栓(10)，螺栓(10)的头部带有一个顶部半球形的螺帽(11)，其螺帽(11)的材质为聚胺脂。

3.根据权利要求2所述支撑装置，其特征在于所述螺帽(11)位于陶瓷吸盘(6)的外侧，呈对称分布式结构。