[实用新型]离心甩干装置以及基板清洗装置有效
| 申请号： | 201620244446.3 | 申请日： | 2016-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN205628733U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 甄常刮 | 申请（专利权）人： | 纳晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/04;B08B5/02;F26B5/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 310052 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离心 装置 以及 清洗 | ||
【权利要求书】：
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