[发明专利]用于优化通过被构形的孔形成的带电粒子束的方法有效
| 申请号： | 201611271120.0 | 申请日： | 2016-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN106683968B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | R·斯温福德;M·马佐斯;D·W·塔格尔;W·M·施泰因哈德特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26;H01J37/21 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 胡莉莉;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 优化 通过 构形 形成 带电 粒子束 方法 | ||
【说明书】：
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