[发明专利]一种双探针飞针测试装置的校准方法

权利要求书

1.一种双探针飞针测试装置的校准方法，其特征在于，所述飞针测试装置包括安装在同一探头上的摄像单元和所述双探针，所述双探针包括固定探针和可调节与所述固定探针距离的移动探针，所述探头可围绕其旋转轴自转和在X-Y轴上平移，所述校准方法包括：

获取所述固定探针当所述探头从其旋转轴的原点开始自转0度时的第一坐标、自转90度时的第二坐标、和自转180度的第三坐标；

获取所述移动探针当其距离所述固定探针初始距离时的第四坐标以及当其距离所述固定探针预设距离时的第五坐标；

获取所述摄像单元的坐标；

根据所述第一、第二、第三、第四、第五坐标和所述摄像单元的坐标，获取当所述固定探针和所述移动探针的距离为第一距离、所述固定探针和所述移动探针的连线与所述X轴夹角为第一角度时，所述固定探针到所述摄像单元的距离；

根据所述固定探针到所述摄像单元的距离对所述双探针飞针测试装置进行校准。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述固定探针当所述探头从其旋转轴的原点开始自转0度时的第一坐标、自转90度时的第二坐标、自转180度的第三坐标包括：

当所述探头从其旋转轴的原点开始自转0度时，移动所述探头使所述固定探针对准校准零点，获取所述第一坐标；

当所述探头从其旋转轴的原点开始自转90度时，移动所述探头使所述固定探针对准所述校准零点，获取所述第二坐标；

当所述探头从其旋转轴的原点开始自转180度时，移动所述探头使所述固定探针对准所述校准零点，获取所述第三坐标。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述移动探针当其距离所述固定探针初始距离时的第四坐标以及当其距离所述固定探针预设距离时的第五坐标包括：

旋转所述探头到其旋转轴的原点；

移动所述移动探针使所述移动探针距离所述固定探针所述初始距离；

移动所述探头使所述移动探针对准校准零点，获取所述第四坐标；

移动所述移动探针使所述移动探针距离所述固定探针所述预设距离；

移动所述探头使所述移动探针对准所述校准零点，获取所述第五坐标；

所述获取所述摄像单元的坐标包括：

移动所述探头使所述摄像单元的中心对准所述校准零点，获取所述摄像单元的坐标。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一、第二、第三、第四、第五坐标和所述摄像单元的坐标，获取当所述固定探针和所述移动探针的距离为第一距离、所述固定探针和所述移动探针的连线与所述X轴夹角为第一角度时，所述固定探针到所述摄像单元的距离包括：

根据所述第一、第二和第三坐标获取所述固定探针的旋转半径和旋转圆心坐标；

根据所述第一、第四和第五坐标获取所述第一坐标在连接所述第四坐标和第五坐标的直线上的投影坐标；

根据所述第一坐标和所述投影坐标获取所述第一坐标到所述连接所述第四坐标和第五坐标的直线的第二距离；

根据所述第一距离和所述第二距离，获取当所述移动探针和所述固定探针的距离为所述第一距离时，所述移动探针到所述投影坐标的第三距离；

根据所述第五坐标、所述投影坐标和所述第三距离，获取当所述移动探针和所述固定探针的距离为所述第一距离时，所述移动探针的第六坐标，以及所述移动探针从其距离所述固定探针所述初始距离的位置开始需要移动的第四距离；

根据所述第一坐标和所述旋转圆心坐标，获取所述第一坐标与所述旋转圆心坐标所成角度；

根据所述第六坐标和所述旋转圆心坐标，获取所述第六坐标和所述旋转圆心坐标所成角度；

根据所述第六坐标和所述第一坐标，获取所述第六坐标和所述第一坐标所成角度；

根据所述第六坐标和所述第一坐标所成的角度和所述第一角度，获取当所述固定探针和所述移动探针的连线与所述X轴夹角为第一角度时，所述探头从其旋转轴的原点开始需要旋转的第二角度；

根据所述旋转圆心坐标、所述旋转半径、所述第一坐标和所述第二坐标所成的角度、以及所述第二角度，获取当所述固定探针和所述移动探针的距离为第一距离、所述固定探针和所述移动探针的连线与所述X轴夹角为第一角度时，所述固定探针的第七坐标；

根据所述摄像单元的坐标和所述第七坐标，获取当所述固定探针和所述移动探针的距离为第一距离、所述固定探针和所述移动探针的连线与所述X轴夹角为第一角度时，所述固定探针到所述摄像单元的距离。