[发明专利]真空计校准装置及方法

说明书

本发明涉及仪器校准技术领域，具体公开了真空计校准装置及方法，包括校准室、阀门、卡箍和管路，阀门通过卡箍与管路的一端连接，管路的另一端与校准室固定连接，标准真空计和被检真空计分别通过卡箍与阀门固定连接，控制阀门开启，对校准室抽真空，测量校准室内真空压力值，实现对被检真空计的校准。采用本发明装置进行真空计校准，可靠性高，方法的不确定度和误差极限完全能够满足国防计量量值传递要求。

技术领域

本发明属于仪器校准技术领域，具体涉及一种真空计校准装置及方法。

背景技术

真空计、真空规是普遍采用的测量真空的计量器具，它们具有精度高，便于远距离、多点和自动控制的特点，在工业生产上广泛应用。目前，国内外大多数计量实验室都已建立校准装置，主要采用比对法和动态流量法。利用电容薄膜真空计和磁悬浮转子真空计作为参考标准，校准范围为10⁵～10^-4Pa。

在生产、科研过程中，很多关键工艺环节是在真空状态下进行的，很多生产单位均有使用高真空计的生产设备，这些设备真空度大都在10^-5Pa。为有效控制生产工艺参数，对使用中的真空计必须进行周期检定校准。由于部分真空计不能拆卸，需要进行现场检定，如中核包头核燃料元件厂关键设备涂覆炉，该设备所用真空计测量数值是该设备关键参数，为强制检定项目，但目前无法进行检定。

因此，建立高真空检定校准装置，可以保证有效控制生产工艺参数，节约外送检定费，解决真空计检定校准难题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空计校准装置及方法，实现对真空计、真空规进行校准。

本发明的技术方案如下：

真空计校准装置，用于通过标准真空计来校准被检真空计，或通过标准真空规来校准被检真空规，其特征在于：包括校准室、阀门A、阀门B、阀门C、阀门D、阀门E、卡箍和管路；

所述的校准室为空心球体，球体结构的内部压力均匀，气体分子均匀碰撞；

所述的阀门A、阀门B、阀门C、阀门D、阀门E分别通过卡箍与管路连接，管路的另一端与校准室固定连接；

所述的阀门A、阀门B、阀门D和阀门E均设于校准室的赤道平面上，阀门A的轴线与阀门B的轴线互相垂直，阀门A与阀门D共轴，阀门E的轴线与阀门D的轴线成60°夹角，且阀门E的轴线与阀门A的轴线成120°夹角，所述阀门C的轴线垂直于校准室的赤道平面。

所述的标准真空计的两个引脚分别通过卡箍与阀门B和阀门C固定连接；

所述的被检真空计根据型号不同分为一个引脚和两个引脚两种类型，一个引脚的被检真空计通过卡箍与阀门D或阀门E固定连接，两个引脚的被检真空计通过卡箍与阀门D和阀门E固定连接。

所述的校准室的内直径取值范围为190～210mm。

所述的校准室的壁厚取值范围为1.5～2.5mm。

所述的校准室的材质选择316不锈钢且表面抛光处理。

所述的阀门A、阀门B、阀门C、阀门D和阀门E均为相同规格的高真空截止阀。

所述的卡箍为KF卡箍、CF卡箍中的一种。

一种真空计校准方法，其特征在于：包括以下步骤：

第一步：把阀门A、阀门B、阀门D和阀门E分别通过卡箍与管路连接，管路的另一端与校准室固定连接，保持所有阀门开启；

第二步：首先把标准真空计连接到校准室，再把被检真空计连接到校准室；

第三步：手动旋转卡箍，确保所有的卡箍已拧紧；