[发明专利]真空计校准装置及方法

权利要求书

1.真空计校准装置，用于通过标准真空计来校准被检真空计，或通过标准真空规来校准被检真空规，其特征在于：包括校准室(1)、阀门A(2)、阀门B(3)、阀门C(4)、阀门D(5)、阀门E(6)、卡箍和管路；

所述的校准室(1)为空心球体，球体结构的内部压力均匀，气体分子均匀碰撞；

所述的阀门A(2)、阀门B(3)、阀门C(4)、阀门D(5)、阀门E(6)分别通过卡箍与管路连接，管路的另一端与校准室(1)固定连接；

所述的阀门A(2)、阀门B(3)、阀门D(5)和阀门E(6)均设于校准室(1)的赤道平面上，阀门A(2)的轴线与阀门B(3)的轴线互相垂直，阀门A(2)与阀门D(5)共轴，阀门E(6)的轴线与阀门D(5)的轴线成60°夹角，且阀门E(6)的轴线与阀门A(2)的轴线成120°夹角，所述阀门C(4)的轴线垂直于校准室(1)的赤道平面。

2.如权利要求1所述的一种真空计校准装置，其特征在于：所述的标准真空计的两个引脚分别通过卡箍与阀门B(3)和阀门C(4)固定连接；

所述的被检真空计根据型号不同分为一个引脚和两个引脚两种类型，一个引脚的被检真空计通过卡箍与阀门D(5)或阀门E(6)固定连接，两个引脚的被检真空计通过卡箍与阀门D(5)和阀门E(6)固定连接。

3.如权利要求1所述的一种真空计校准装置，其特征在于：所述的校准室(1)的内直径取值范围为190～210mm。

4.如权利要求1所述的一种真空计校准装置，其特征在于：所述的校准室(1)的壁厚取值范围为1.5～2.5mm。

5.如权利要求1所述的一种真空计校准装置，其特征在于：所述的校准室(1)的材质选择316不锈钢且表面抛光处理。

6.如权利要求1所述的一种真空计校准装置，其特征在于：所述的阀门A(2)、阀门B(3)、阀门C(4)、阀门D(5)和阀门E(6)均为相同规格的高真空截止阀。

7.如权利要求1所述的一种真空计校准装置，其特征在于：所述的卡箍为KF卡箍、CF卡箍中的一种。

8.一种真空计校准方法，其特征在于：包括以下步骤：

第一步：把阀门A(2)、阀门B(3)、阀门D(5)和阀门E(6)分别通过卡箍与管路连接，管路的另一端与校准室(1)固定连接，保持所有阀门开启；

第二步：首先把标准真空计连接到校准室(1)，再把被检真空计连接到校准室(1)；

第三步：手动旋转卡箍，确保所有的卡箍已拧紧；

第四步：分别启动标准真空计的电源和被检真空计的电源；

第五步：通过抽气装置对校准室(1)抽真空；

第六步：随着校准室(1)内的真空压力下降到各个校准点，进行测量、记录、比对，实现对被检真空计进行校准；

第七步：拆除标准真空计、被检真空计和所有阀门，结束校准。

9.如权利要求8所述的一种真空计校准方法，其特征在于：第六步中，所述的各个校准点按照国家标准规范进行选取。

10.如权利要求8所述的一种真空计校准方法，其特征在于：第六步中，测量次数根据被检真空计的量程范围选择，测量次数大于等于27次。