[发明专利]一种等电位立式全浸没阴极高效连续制备金属薄膜的方法有效
申请号: | 201611261396.0 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN106702468B | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 王群;周东伟;陈志强 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | C25D17/12 | 分类号: | C25D17/12;C25D17/00 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 刘萍 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电位 立式 浸没 阴极 高效 连续 制备 金属 薄膜 方法 | ||
1.一种等电位立式全浸没阴极高效连续制备金属薄膜的方法,应用如下装置,该装置包括电镀槽;集液槽;阴极传动系统;镀液循环过滤系统;电源和张力收卷控制系统;其特征在于,采用的阴极为闭合的环形金属带,该阴极的安装方式为立式安装,即环形带的侧面与镀槽的底面呈垂直状态;该环形阴极完全浸入在镀液中;
所述阴极传动系统由主动端和从动端两部分组成,环形阴极随传动辊的转动方向运动,挂靠的阳极垂直于镀槽底面,与环形阴极平行相对;
调节环形带的相对的两个内侧面之间的距离小于50mm,环形阴极随传动辊的转动方向运动。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,该阴极的沉积方式为双向电沉积,即在阴极的相对的两个外侧面同时进行金属薄膜的电沉积过程,阳极与镀槽底面垂直,并与阴极的两外侧面呈立体平行的关系。
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