[发明专利]一种等离子体处理装置及其射频滤波电路

说明书

本发明提供了一种射频滤波电路和应用该射频滤波电路的等离子体处理装置，其中，所述射频滤波电路包括，一级滤波器和二级滤波器，所述二级滤波器包括两个或两个以上的滤波器并行连接，所述一级滤波器通过一开关可选择地和二级滤波器中的其中之一相连；所述射频滤波电路还包括一加热装置及一直流电源，所述直流电源用于对所述加热装置进行加热；所述一级滤波器和二级滤波器设置于所述加热装置及所述直流电源之间，用于过滤射频信号自所述加热装置进入所述直流电源。利用本发明的射频滤波电路可以大大降低调节难度，提高射频滤波电路的准确性。

技术领域

本发明涉及射频技术领域，尤其涉及一种能够滤除多个射频功率信号的射频滤波电路以及包括该射频滤波电路的等离子体处理装置。

背景技术

在射频技术领域中，通常需要滤除多余的射频能量，为此，需要设置射频滤波器。而且，在一些加工工艺如等离子体加工工艺中，通常会采用多个射频频率的射频源来控制等离子体加工的不同特性。为了滤除多个不同射频频率的射频能量，需要设置与需要滤除的射频信号数量相等级数的滤波器，如图1所示，当需要滤除的射频信号数量为3个时，需要设置首尾串联的三级滤波器,以实现对3个射频信号的逐级滤除。由于各级滤波器之间进行调节时会互相影响，每多引入一级过滤器即会大大提高滤波器的调节设置难度，因此，本领域技术人员急需一种能够降低调节难度的滤波电路。

发明内容

有鉴于此，本发明的第一方面提供了一种可靠的射频滤波电路。包括，一级滤波器和二级滤波器，所述二级滤波器包括两个或两个以上的滤波器并行连接，所述一级滤波器通过一开关可选择地和二级滤波器中的其中之一相连。

优选的，所述射频滤波电路还包括一加热装置及一直流电源，所述直流电源用于对所述加热装置进行加热；所述一级滤波器和二级滤波器设置于所述加热装置及所述直流电源之间，用于过滤射频信号自所述加热装置进入所述直流电源。

所述射频滤波电路还包括一直流电极及一直流电源，所述一级滤波器和二级滤波器设置于所述直流电极及所述直流电源之间，用于过滤射频信号自所述直流电极进入所述直流电源。

优选的，所述一级滤波器和二级滤波器分别包括至少一组共模电感。

优选的，所述加热装置设置在所述一级滤波器的输入端。

优选的，所述直流电源设置在所述二级滤波器的输出端。

优选的，所述二级滤波器并联的两个或两个以上的滤波器用于过滤不同频率的射频信号。

优选的，所述一级滤波器和二级滤波器分别用于过滤不同频率的射频信号。

优选的，所述一级滤波器用于过滤源射频信号，所述二级滤波器用于过滤偏置射频信号。

优选的，所述一级滤波器用于过滤偏置射频信号，所述二级滤波器用于过滤源射频信号。

优选的，所述第一滤波器用于过滤60MHZ的射频信号，所述二级滤波器分别用于过滤2MHZ和13.56MHZ的射频信号。

进一步的，本发明还公开了一种等离子体处理装置，所述处理装置包括：

一反应腔，一静电卡盘设置在所述反应腔内；

射频功率源，用于对所述反应腔提供至少两个不同频率的射频信号；

所述静电卡盘内部设置一加热装置，一直流电源用于对所述加热装置施加直流电源；

所述加热装置与所述直流电源之间设置一射频滤波电路，所述射频滤波电路包括上文所述的技术特征。

进一步的，一种等离子体处理装置，所述处理装置包括：

一反应腔，一静电卡盘设置在所述反应腔内；