[发明专利]具冲击吸收器的微机电装置

说明书

本发明公开一种具冲击吸收器的微机电装置，其包括一基板、一盖体、一可动质量块以及一冲击吸收器。盖体与可动质量块设置于基板上。冲击吸收器设置于盖体上。冲击吸收器包括一限制元件、一固定式阻挡器、一可动式阻挡器、一弹性元件、一支撑元件以及一空间。固定式阻挡器设置于盖体的下表面。弹性元件连接限制元件及可动式阻挡器。支撑元件连接限制元件及固定式阻挡器。空间设置于固定式阻挡器与可动式阻挡器之间。冲击吸收器可避免可动质量块碰撞盖体。此外，冲击吸收器的支撑元件可为绝缘材料，以降低可动式阻挡器与可动质量块之间的静电力交互作用。

技术领域

本申请涉及一种微机电装置，且特别是涉及一种具冲击吸收器的微机电装置。

背景技术

目前，微机电感测器已被广泛地应用于现代生活的许多领域。例如，微机电胎压侦测器已应用于各种车辆中、微机电声音传感器、微机电陀螺仪或微机电加速度计等装置已应用于各种智慧型手机中。而其它多种微机电感测器也被应用在物联网所需的智慧型电子产品中。

微机电感测元件通常通过内建的可动元件的运动来判定如：加速度、角速度、地磁力等物理量的变化。当可动元件的运动范围过大，可能碰撞周遭的结构(如盖体)而损坏。在现有技术中，已采用一种固定式止动元件，以阻止可动元件产生过大的移动。然而，现有的止动元件在抵挡可动元件时仍然会产生巨大的撞击力，且止动时间极短，使得可动元件或周遭的结构在止动过程中受损。

此外，现有的止动元件与可动元件可能产生静电力作用。当带有电荷的可动元件接近止动元件时，止动元件会产生感应电荷，进而干扰可动元件在进行量测时所产生的电压，进而影响可动元件量测物理量时的准确性。

发明内容

本申请的目的在于提供一种具冲击吸收器的微机电装置，能防止微机电感测元件内部的可动元件因运动而碰撞周遭结构造成损坏，以有效确保微机电装置的可靠度。

本申请的再一目的在于提供一种具冲击吸收器的微机电装置，能有效避免可动元件的运作受到静电力作用的干扰，以确保量测准确性。

为达上述目的，本申请的微机电装置包括一基板、一盖体、一可动质量块以及一冲击吸收器。盖体与可动质量块设置于基板上。冲击吸收器设置于盖体上。冲击吸收器包括一限制元件、一固定式阻挡器、一可动式阻挡器、一弹性元件、一支撑元件以及一空间。固定式阻挡器设置于盖体的下表面。弹性元件连接限制元件及可动式阻挡器。支撑元件连接限制元件及固定式阻挡器。空间设置于固定式阻挡器与可动式阻挡器之间。

在本申请的一实施例中，所述空间被支撑元件所环绕。

在本申请的一实施例中，所述可动质量块撞击可动式阻挡器时，可动式阻挡器会朝向盖体移动，且可动式阻挡器的上表面会进入空间。

在本申请的一实施例中，所述可动式阻挡器适于接触固定式阻挡器。

在本申请的一实施例中，所述弹性元件的一移动端连接可动式阻挡器，且弹性元件的一固定端连接限制元件。当可动式阻挡器朝向盖体移动时，移动端至盖体的下表面的距离小于固定端至盖体的下表面的距离。

在本申请的一实施例中，所述可动式阻挡器与盖体电性绝缘。

在本申请的一实施例中，所述支撑元件的材质为电性绝缘材料。

在本申请的一实施例中，所述盖体另包含一第一半导体层、一第二半导体层及一电性绝缘层。电性绝缘层设置于第一半导体层与第二半导体层之间。可动式阻挡器与第一半导体层电性绝缘。

在本申请的一实施例中，所述可动式阻挡器与第二半导体层电连接，可动式阻挡器可通过第二半导体层而被施予一电压。

在本申请的一实施例中，所述盖体另包含一第一半导体层、一第二半导体层及一电性绝缘层。电性绝缘层设置于第一半导体层与第二半导体层之间。支撑元件的材质与电性绝缘层的材质相同。支撑元件的厚度实质上等于电性绝缘层的厚度。