[发明专利]一种表面等离子体激元产生切伦科夫辐射的装置

权利要求书

1.一种表面等离子体激元产生切伦科夫辐射的装置，包括：电子发射系统、电子接收系统、真空腔室、样品架系统、电子束流测试系统以及光谱仪；

所述真空腔室前后两侧壁对应设置有电子发射系统接口和电子接收系统接口，分别用于连接电子发射系统、电子接收系统；上壁设置有电子束流测试接口用于连接电子束流测试系统；下壁设置有光谱仪接口，用于连接光谱仪；

所述电子发射系统包括电子发射装置以及抽真空系统，所述抽真空系统用于对真空腔室抽真空；

所述样品架系统设置于真空腔室内部，包括样品台、电子束流通道板、电子束流接收板以及束流测试引线；

所述电子束流通道板上部开有N个束流通道孔，其中N大于等于3，下部开有卡槽；所述电子束流接收板上部开有1个束流通道孔，下部开有与电子束流通道板对应的卡槽；所述卡槽用于固定样品；两根束流测试引线分别连接电子束流通道板和电子束流接收板，用于连接电子束流测试系统测量电子束流大小；

电子发射系统发射的电子经过电子束流通道板上的束流通道孔，掠过样品表面，激励起样品金属薄膜表面的表面等离子体激元，然后到达电子束流接收板，被电子束流接收板接收；金属薄膜表面等离子体激元透过金属薄膜进入样品的介质层并在介质层中转化为切伦科夫辐射，从介质中辐射出去被光谱仪的光纤探头接收，并由光谱仪测量产生的切伦科夫辐射频率和功率。

2.如权利要求1所述的一种表面等离子体激元产生切伦科夫辐射的装置，其特征在于：所述真空腔室还设置有电控位移系统接口，用于真空腔室内部样品台连接电控位移系统；所述电控位移系统控制样品台的左右移动，从而使电子束从电子束流通道板上不同的通道孔经过，掠过不同的样品表面，实现对不同样品的激励。

3.如权利要求1或2所述的一种表面等离子体激元产生切伦科夫辐射的装置，其特征在于：所述真空腔室还设置有观察窗。