[发明专利]偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种双轴偏转反射镜装置及其实施方法，具体为一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法。

背景技术

近年来，天文望远镜、显微镜、等精密光学系统在航天工程、生育技术等领域中的应用日益广泛，对精密光路控制提出了更高的使用需求。针对这种需求，可以使用压电陶瓷与柔性铰链结构配合实现多轴偏转，但是目前的技术仍然存在一些问题，首先，目前市面上的压电偏转机构纵向尺寸一般较高，所需要的安装空间纵深较大，同时高度也限制了结构基频，降低了可靠性。其次，受限于目前所采用的柔性铰链位置设计，反射镜输出偏角时，镜面中心会产生高度方向的位移，反射光点所在的镜面中心与结构偏转轴不相交，因此精度还有待提高。

发明内容

为了克服上述现有技术存在的问题，消除反射光点与结构偏转轴不重合所造成的光路控制误差，同时降低结构高度，本发明的目的在于提供一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法，使用压电陶瓷对反射镜装置进行驱动，采用沉降式反射镜安装结构，使得结构偏转中心位于反射镜面上，同时，该装置还具有紧凑的结构形式，特别是具有高度较低，偏转响应速度快，精度高的特点。

为达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：

一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置，包括底座1，安装在底座1上的第一固定支座2‐1、第二固定支座2‐2、第三固定支座2‐3和第四固定支座2‐4，一端固定在第一固定支座2‐1上的第一弹性筝形环3‐1，一端固定在第二固定支座2‐2上的第二弹性筝形环3‐2，一端固定在第三固定支座2‐3上的第三弹性筝形环3‐3，一端固定在第四固定支座2‐4上的第四弹性筝形环3‐4，水平安装于第一弹性筝形环3‐1内的第一压电陶瓷4‐1，水平安装于第二弹性筝形环3‐2内的第二压电陶瓷4‐2，水平安装于第三弹性筝形环3‐3内的第三压电陶瓷4‐3，水平安装于第四弹性筝形环3‐4内的第四压电陶瓷4‐4，通过柔性铰链与第一弹性筝形环3‐1、第二弹性筝形环3‐2，第三弹性筝形环3‐3和第四弹性筝形环3‐4连接的偏转支撑座5，与偏转支撑座5固定连接的反射镜承载台6，放置在反射镜承载台6上方的反射镜7，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第一固定支座2‐1上的第一连接台8‐1，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第二固定支座2‐2上的第二连接台8‐2，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第三固定支座2‐3上的第三连接台8‐3，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第四固定支座2‐4上的第四连接台8‐4；所述第一弹性筝形环3‐1和第二弹性筝形环3‐2位于X轴上且关于Y轴对称，第三弹性筝形环3‐3和第四弹性筝形环3‐4位于Y轴上且关于X轴对称；所述反射镜7采用了沉降的安装方式，安装在反射镜承载台6的内部，且反射镜7的上表面与第一连接台8‐1、第二连接台8‐2、第三连接台8‐3和第四连接台8‐4所连接的柔性铰链中线处于同一平面，以保证偏转轴线交汇于反射镜表面。

所述的偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置实现双轴偏转的方法，差动驱动第三压电陶瓷4‐3与第四压电陶瓷4‐4，推动偏转支撑座5运动，即实现围绕X轴方向的偏转；差动驱动第一压电陶瓷4‐1与第二压电陶瓷4‐2，推动偏转支撑座5运动，即实现围绕y轴方向的偏转，实现偏转轴相交于反射镜7表面的双轴偏转。

具体方法为：使反射镜7镜面绕X轴正向偏转时，第三压电陶瓷4‐3与第四压电陶瓷4‐4采用差动的方式工作，第四压电陶瓷4‐4伸长，第三压电陶瓷4‐3等量缩短，压电陶瓷的线性位移输出加载于第三弹性筝形环3‐3和第四弹性筝形环3‐4上，第三弹性筝形环3‐3短轴方向伸长，第四弹性筝形环3‐4短轴方向缩短，推动偏转支撑座5沿Y轴负向产生位移，偏转支撑座5以及反射镜承载台6由于受到第一连接台8‐1、第二连接台8‐2、第三连接台8‐3、第四连接台8‐4及其柔性铰链的约束作用，承载反射镜7绕X轴正向偏转；与之原理相同，绕X轴负向偏转时，第三压电陶瓷4‐3与第四压电陶瓷4‐4也采用差动的方式工作，第四压电陶瓷4‐4缩短，第三压电陶瓷4‐3等量伸长，即实现承载反射镜7绕X轴负向偏转；

同理，第一压电陶瓷4‐1与第二压电陶瓷4‐2采用差动方式工作，一个压电陶瓷伸长时另一个压电陶瓷等量缩短，即实现承载反射镜7绕Y轴双向偏转；第一压电陶瓷4‐1、第二压电陶瓷4‐2、第三压电陶瓷4‐3和第四压电陶瓷4‐4协同工作，即实现对反射镜双轴偏转的控制，由于偏转轴X和偏转轴Y相交于反射镜7上表面，因此减少了由于镜面纵向位移所带来的光路控制误差。