[发明专利]涂布机以及检查由该涂布机排出的糊状物的量的方法

权利要求书

1.一种涂布机，包括：框架；托台，设置在框架之上，以及使母板设置在其上表面上；轨道，设置在框架之上，以及每个轨道沿y轴方向在托台的任一侧延伸；涂布头单元支撑件，被安装为使得其能够沿轨道在y轴方向上移动；涂布头单元，安装在涂布头单元支撑件上，使得其能够在与y轴方向垂直的x轴方向上移动，以及被配置为将糊状物的液滴排出至母板上；传感器支撑件，被安装为能够沿轨道在y轴方向上移动，以及设置在涂布头单元支撑件的相对侧上；以及传感器，安装在传感器支撑件上，使得其能够沿x轴方向移动，以及被配置为测量排出的液滴的上表面的高度。

2.根据权利要求1所述的涂布机，还包括：存储器，被配置为储存由传感器测量的糊状物的液滴的上表面的高度数据；以及运算单元，被配置为基于储存在存储器中的糊状物的液滴的高度数据来计算糊状物的液滴的体积，以及基于计算出的糊状物的液滴的体积来计算糊状物的液滴的重量。

3.根据权利要求2所述的涂布机，其中，传感器测量在排出的糊状物的液滴的上表面上的在y轴方向上彼此间隔开的第一点组和第二点组的高度，其中，第一点组和第二点组中的每个点组包括沿x轴方向成直线布置的多个点。

4.根据权利要求3所述的涂布机，其中，传感器在通过传感器支撑件沿y轴方向移动的同时，顺序地测量第一点组和第二点组的高度，然后将测量的高度数据传送至存储器。

5.根据权利要求2所述的涂布机，还包括：控制单元，被配置为将计算出的糊状物的液滴的重量与预定参考重量相比较，来判断从涂布头单元排出的糊状物的量是否合适。

6.根据权利要求5所述的涂布机，其中，控制单元被配置为：如果确定计算出的液滴的重量等于预定参考重量或在预定裕度内，则保持从涂布头单元排出的糊状物的量；以及如果确定计算出的液滴的重量距离预定参考重量超出预定裕度，则校正从涂布头单元排出的糊状物的量。

7.根据权利要求1所述的涂布机，还包括：z轴驱动器，安装在传感器支撑件上，以及被配置为使传感器沿与x轴和y轴正交的z轴方向上下移动。

8.根据权利要求1所述的涂布机，其中，传感器包括光谱共焦传感器。

9.一种检查从涂布头单元排出至母板上的糊状物的量的方法，所述方法包括：将糊状物的液滴排出至母板上；测量排出的糊状物的液滴的上表面的高度；基于测量的糊状物的液滴的上表面的高度来计算糊状物的液滴的体积；基于计算的液滴的体积来计算液滴的重量；将计算的液滴的重量与预定参考重量相比较；以及基于比较结果来控制从涂布头单元排出的糊状物的量。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，测量排出的液滴的上表面的高度的步骤包括：测量在排出的液滴的上表面上的在y轴方向上彼此间隔开的第一点组和第二点组的高度；以及将测量的高度数据提供至存储器。

11.根据权利要求9所述的方法，其中，将计算的液滴的重量与预定参考重量相比较的步骤包括：如果确定计算的糊状物的液滴的重量等于预定参考重量或者在预定裕度内，则确定从涂布头单元排出的糊状物的量合适。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，控制从涂布头单元排出的糊状物的量的步骤包括：如果确定从涂布头单元排出的糊状物的量合适，则保持从涂布头单元排出的糊状物的量。

13.根据权利要求9所述的方法，其中，将计算的液滴的重量与预定参考重量相比较的步骤包括：如果确定计算的糊状物的液滴的重量距离预定参考重量超出预定裕度，则确定从涂布头单元排出的糊状物的量不合适。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，控制从涂布头单元排出的糊状物的量的步骤包括：如果确定从涂布头单元排出的糊状物的量不合适，则校正从涂布头单元排出的糊状物的量。