[发明专利]一种机械光调制装置

权利要求书

1.一种机械光调制装置，其特征在于：所述机械光调制装置包括控制部分和斩波装置，所述斩波装置设置为电性连接所述控制部分；

所述控制部分设置为包括外部同步信号接口、锁相环和伺服电机控制器，所述外部同步信号接口的输入端设置为电性连接外部光学扫描显微镜的Y轴检流计，且该外部同步信号接口的输出端设置为电性连接所述锁相环的输入端，所述锁相环的输出端设置为电性连接所述伺服电机控制器的输入端，所述伺服电机控制器的输出端设置为电性连接所述斩波装置；

所述斩波装置设置为包括斩光片和电机，所述斩光片设置为通过所述电机驱动旋转，所述电机设置为电性连接所述伺服电机控制器。

2.根据权利要求1所述的机械光调制装置，其特征在于：所述斩光片的中心设置一定位孔，所述定位孔内共轴线设置所述电机的输出轴。

3.根据权利要求2所述的机械光调制装置，其特征在于：所述定位孔的周围共圆心均匀设置若干通孔，所述通孔的位置靠近所述斩光片的边缘并沿径向对称设置，且该通孔的规格和数量设置为依据外部光学扫描显微镜的共振扫描速度、行数和扫描模式而定。

4.根据权利要求3所述的机械光调制装置，其特征在于：所述定位孔与所述通孔均设置为采用掩模-化学蚀刻工艺加工。

5.根据权利要求1所述的机械光调制装置，其特征在于：所述斩光片设置为铜、铜合金、铝或铝合金材质。

6.根据权利要求1所述的机械光调制装置，其特征在于：所述电机设置为伺服电机，且该伺服电机的转速设置为100rpm至100000rpm。

7.根据权利要求1所述的机械光调制装置，其特征在于：所述斩光片与所述电机设置为通过金属夹具固定。