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- [发明专利]用于多子束带电粒子束设备的束消隐装置-CN202080083616.3有效
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B·J·库克;E·霍根
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ICT半导体集成电路测试有限公司
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2020-11-23
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2023-05-16
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H01J37/04
- 提供了一种用于多子束带电粒子束设备的束消隐装置。束消隐装置包括第一消隐单元、第二消隐单元、和第三消隐单元。第一消隐单元包括第一消隐电极和第一孔。第二消隐单元包括第二消隐电极和第二孔。第三消隐单元包括第三消隐电极和第三孔。束消隐装置包括公共电极,所述公共电极形成用于第一消隐电极的第一相对电极、用于第二消隐电极的第二相对电极和用于第三消隐电极的第三相对电极。第一消隐单元、第二消隐单元、和第三消隐单元布置在平面阵列中并限定平面阵列的平面。第一消隐电极布置为在第一孔中在第一消隐电极和公共电极之间产生第一电场,以将多子束带电粒子束设备的第一子束偏转到第一偏转方向。与平面阵列相交的分隔平面将第一消隐单元与第二消隐单元和第三消隐单元分开,其中第一偏转方向、第二偏转方向、和第三偏转方向指离分隔平面。
- 用于束带粒子束设备束消隐装置
- [发明专利]一种带消隐功能的驱动电路-CN201510451775.5有效
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刘洋;俞德军;宁宁;梁孝亿;段开锋;于奇
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电子科技大学
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2015-07-28
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2018-02-13
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H03K19/0944
- 本发明提出了一种带消隐功能的驱动电路,属于功率MOSFET驱动技术领域。包括驱动级模块、推挽输出级模块、功率管、消隐控制模块、消隐采样模块;所述驱动级模块的输入端连接输入驱动信号,输出端连接推挽输出级模块;所述推挽输出级模块输出端连接功率管的栅端、消隐控制模块和消隐采样模块;所述消隐控制模块连接输入驱动信号和消隐采样模块;所述消隐采样模块连接功率管的漏端;所述功率管的源端接地。本发明电路驱动级具有交错延时功能,避免了驱动级推挽输出PMOS管、NMOS管同时导通;同时,采样开关的使用结合消隐控制逻辑,解决了对片内功率MOSFET输出电流进行采样的毛刺问题,达到了消隐目的。
- 一种带消隐功能驱动电路
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