[发明专利]用于感测流体介质压力的传感器

权利要求书

1.用于感测流体介质压力的传感器(10)，所述传感器包括用于感测流体介质压力的传感器元件(12)、用于将流体介质输送至所述传感器元件(12)的输入通道(24)和用于处理所述传感器元件(12)的信号的控制和/或分析电路(26)，

其特征在于，

所述控制和/或分析电路(26)布置在所述传感器元件(12)上。

2.根据权利要求1所述的传感器(10)，其中，所述控制和/或分析电路(26)直接布置在所述述传感器元件(12)上。

3.根据前述权利要求中任一项所述的传感器(10)，其中，所述控制和/或分析电路(26)如此布置在所述述传感器元件(12)上，使得所述控制和/或分析电路(26)与所述传感器元件(12)包围空腔(28)。

4.根据权利要求3所述的传感器(10)，其中，所述控制和/或分析电路(26)在面向所述传感器元件(12)的正面(30)上具有凹部(32)，其中，所述凹部(32)由所述传感器元件(12)封闭，以便形成所述空腔(28)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的传感器(10)，其中，所述控制和/或分析电路(26)布置在所述传感器元件(12)的背离所述输入通道(24)的背面(16)上。

6.根据权利要求5所述的传感器(10)，其中，所述传感器元件(12)和所述控制和/或分析电路(26)沿纵向延伸方向(34)布置，其中，所述控制和/或分析电路(26)的垂直于所述纵向延伸方向(34)的横截面(36)小于所述传感器元件(12)的垂直于所述纵向延伸方向(34)的横截面(38)。

7.根据权利要求6所述的传感器(10)，其中，所述控制和/或分析电路(26)与所述传感器元件(12)电连接。

8.根据权利要求7所述的传感器(10)，其中，在所述传感器元件(12)的背面(16)上布置有至少一个连接触点(40)，其中，所述控制和/或分析电路(26)与所述连接触点(40)借助于至少一个键合线(42)电连接。

9.根据权利要求8所述的传感器(10)，其中，所述连接触点(40)关于所述纵向延伸方向(34)而言位于所述控制和/或分析电路(26)旁边。

10.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，其中，所述传感器元件(12)是硅芯片。