[发明专利]一种用于清洁玻璃基板的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种清洁装置，特别涉及一种用于清洁玻璃基板的装置。

背景技术

在目前液晶面板产线上，清洗机、显影机已成为必不可少的组成部分，而风刀(air knife，AK)作为清洗设备的后端有着极其重要的作用。

风刀的作用即为利用大量的CDA吹除玻璃基板表面上的水，而风刀与玻璃会有一夹角，目的在于增加排水性，将水由玻璃上方吹赶到下方。

风刀在吹干基板上水时，在风刀上下流量一定的情况下，风刀对准基板表面的角度相当重要。

若角度偏小，风刀会吹不干净水，只能通过加大气流(air flow)流量来协调，相应会增加费用及减少流量变化空间。

若角度偏大，直接会导致水膜下面光阻缺陷，形成贯穿性横条风刀不均匀(mura)，严重影响品质。

若固定调好风刀的角度，并且搭配合适的气流流量，实验证明能在一段时间内稳定，但是一旦洗涤(wash)端水膜厚度变化，洗涤、超高压微细颗粒水喷射清洗技术(HPMJ)、H/M流量变化，光阻材质变化，前程中不同制程条件变化时，风刀不均匀就会发生，适当调整风刀角度就能减轻减弱不均匀。但此时已经固定调好风刀的角度，需要拆除风刀并调整风刀与玻璃基板之间的角度，最后再安装风刀。

拆除加安装风刀至少需要四小时以上，会大大降低生产效率。

为解决现有技术的缺陷，本发明提供了一种新的用于清洁玻璃基板的装置。

发明内容

本发明的用于清洁玻璃基板的装置能够在短时间内将风刀与玻璃基板之间的角度调整到所需要的角度，提高生产效率，同时利用角度来搭配低流量，能够节约成本。

为实现上述目的，本发明提供了一种用于清洁玻璃基板的装置，其中，

所述风刀装置包括：

风刀单元，所述风刀单元包括进气口、风刀和出气口，气流从所述进气口进入，经由所述风刀与玻璃基板之间的缝隙后从所述出气口离开所述风刀单元；

驱动器，所述驱动器与所述风刀机械式连接，且能够调整所述风刀与所述玻璃基板之间角度；以及

控制单元，所述控制单元与所述驱动器电连接，并控制所述驱动器进行所述调整。

如上所述的装置，其中，所述驱动器包括线性马达，所述线性马达通过滚动轴承与所述风刀相接，所述线性马达与所述控制单元相接。

如上所述的装置，其中，所述线性马达和所述滚动轴承之间设有角度计数器。

如上所述的装置，其中，所述角度计数器能将所述线性马达转动的圈数转换为所述风刀与所述玻璃基板之间的角度。

如上所述的装置，其中，所述风刀单元包括风刀本体，所述风刀和所述玻璃基板设于所述风刀本体内，所述玻璃基板的上下两侧分别设有所述风刀。

如上所述的装置，其中，所述玻璃基板的上侧的所述风刀与所述玻璃基板下侧的所述风刀相对设置。

如上所述的装置，其中，所述风刀本体上设有所述进气口和所述出气口，所述风刀设于所述进气口和所述出气口之间。

如上所述的装置，其中，所述进气口处设有空气过滤器。

如上所述的装置，其中，所述风刀本体内还设有储气槽，所述储气槽位于所述进气口和所述出气口之间，且所述储气槽分别与所述进气口和所述出气口相连通。

如上所述的装置，其中，所述风刀本体内还设有气体导向槽，所述气体导向槽位于所述储气槽和所述出气口之间，且所述气体导向槽分别与所述储气槽和所述出气口相连通。

本发明的用于清洁玻璃基板的装置通过控制单元使驱动器来调整风刀与玻璃基板之间角度，实现快速调整的目的，从而达到提高生产效率的效果。本发明的角度计数器能够将线性马达转动的圈数转换为风刀与玻璃基板之间的角度，记录风刀与玻璃基板之间的角度，同时利用角度来搭配低气体流量，能够节约成本。

附图说明

在此描述的附图仅用于解释目的，而不意图以任何方式来限制本发明公开的范围。另外，图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的，用于帮助对本发明的理解，并不是具体限定本发明各部件的形状和比例尺寸。本领域的技术人员在本发明的教导下，可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本发明。

图1为本发明的用于清洁玻璃基板的装置的结构示意图；

图2为本发明的风刀单元中风刀与玻璃基板之间的设置示意图；

图3为本发明的风刀单元的主视图；

图4为本发明的风刀单元的平面剖视图。

具体实施方式