[发明专利]一种用于清洁玻璃基板的装置

权利要求书

1.一种用于清洁玻璃基板的装置，其特征在于，所述装置包括：

风刀单元，所述风刀单元包括进气口、风刀和出气口，气流从所述进气口进入，经由所述风刀与玻璃基板之间的缝隙后从所述出气口离开所述风刀单元；

驱动器，所述驱动器与所述风刀机械式连接，且能够调整所述风刀与所述玻璃基板之间角度；以及

控制单元，所述控制单元与所述驱动器电连接，并控制所述驱动器进行所述调整。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述驱动器包括线性马达，所述线性马达通过滚动轴承与所述风刀相接，所述线性马达与所述控制单元相接。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述线性马达和所述滚动轴承之间设有角度计数器。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述角度计数器能将所述线性马达转动的圈数转换为所述风刀与所述玻璃基板之间的角度。

5.如权利要求1至4中任一项所述的装置，其特征在于，所述风刀单元还包括风刀本体，所述风刀和所述玻璃基板设于所述风刀本体内，所述玻璃基板的上下两侧分别设有所述风刀。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述玻璃基板的上侧的所述风刀与所述玻璃基板下侧的所述风刀相对设置。

7.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述风刀本体上设有所述进气口和所述出气口，所述风刀设于所述进气口和所述出气口之间。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述进气口处设有空气过滤器。

9.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述风刀本体内还设有储气槽，所述储气槽位于所述进气口和所述出气口之间，且所述储气槽分别与所述进气口和所述出气口相连通。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述风刀本体内还设有气体导向槽，所述气体导向槽位于所述储气槽和所述出气口之间，且所述气体导向槽分别与所述储气槽和所述出气口相连通。