[发明专利]一种可扩展式模块化并行芯片输送装置

权利要求书

1.一种可扩展式模块化并行芯片输送装置，其特征在于：包括输送组件(3)、支座(1)及水平设置在支座(1)上的横梁(2)；

所述输送组件(3)包括可拆卸安装在横梁(2)上的支撑座机构(4)，以及该支撑座机构(4)上设置的取料单元(31)，以及用于向取料单元(31)输送芯片的运料单元(32),所述芯片输送方向为和横梁(2)垂直的水平直线方向；

所述运料单元(32)包括载具(321)，及设置在支撑座机构(4)上、控制载具(321)沿水平直线方向移动的控制机构，所述载具(321)顶面设有载料区(322)；

所述取料单元(31)包括取料测试臂(312)，及设置在支撑座机构(4)上、控制取料测试臂(312)上下移动的控制机构，所述取料测试臂(312)底部设有用于拿取载具(321)上物料的吸盘机构(314)，所述吸盘机构(314)的吸盘口朝下设置;

所述输送组件(3)还包括检测单元(33)，所述检测单元(33)设置在载具(321)的上料位置；

所述检测单元(33)包括安装座(331)和支架(333)，所述安装座(331)设置在支撑座机构(4)上，所述支架(333)设置在安装座(331)顶部，且该支架(333)位于载具(321)上方，所述支架(333)上设有和载料区(322)相对应的、用于检测载料区(322)内芯片放置状态的传感器(334)，所述传感器(334)为光纤传感器或光电传感器；

所述支架(333)和安装座(331)间设有调整机构，所述调整机构包括导向轴(336)、导向轴固定板(332)和调整螺钉(339)，所述导向轴固定板(332)位于安装座(331)底部，在所述导向轴固定板(332)和安装座(331) 间连接有弹簧(338)，所述导向轴(336)可上下活动的设置在安装座(331)内，所述调整螺钉(339)穿过导向轴固定板(332)后和导向轴(336)底部螺纹连接，所述支架(333)固装在导向轴(336)顶部。

2.根据权利要求1所述的一种可扩展式模块化并行芯片输送装置，其特征在于：所述载料区(322)设有两个，该两个载料区(322)分别盛放待测试芯片和已测试芯片。

3.根据权利要求1所述的一种可扩展式模块化并行芯片输送装置，其特征在于：所述吸盘机构(314)和取料测试臂(312)间设有给气浮动装置(313)，所述给气浮动装置(313)的浮动杆朝下设置，所述吸盘机构(314)和给气浮动装置(313)的浮动杆固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种可扩展式模块化并行芯片输送装置，其特征在于：控制所述载具(321)沿水平直线方向移动的控制机构为同步带式直线滑台，所述载具(321)设置在该同步带式滑台的滑块(35)上。

5.根据权利要求1所述的一种可扩展式模块化并行芯片输送装置，其特征在于：控制所述取料测试臂(312)上下移动的控制机构为丝杠型直线滑台，所述取料测试臂(312)固装在该丝杠型直线滑台的滑块上。