[发明专利]晶圆装卸台效率监控方法

说明书

本发明提供一种晶圆装卸台效率监控方法，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：1）结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；2）当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。本发明通过结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型，在晶圆装卸台闲置时可以通过所述监控模型正确区分正常闲置与非正常闲置，从而提高生产效率。

技术领域

本发明涉及半导体工艺领域，特别是涉及一种晶圆装卸台效率监控方法。

背景技术

在传统的半导体生产线上，有大量的机台(Tool)，而每个机台又有几个乃至十几个用于装置产品的晶圆装卸台(Load Port)，所述晶圆装卸台是制造部门可用于监控机台的最小单位。

传统上，仅仅将晶圆装卸台区分为跑货(RUN)/闲置(IDLE)/停机(DOWN)几种状态，并不结合机台闲置，在晶圆装卸台闲置时无法区分是正常显示还是非正常闲置，无法通过减小非正常闲置提高效率。

为了提升生产线效率，提高产量，传统上会通过监控机台是否有空闲时间，减少空闲时间即可以提高机台利用率(Efficiency)，从而提高生产线的整体效率。但该方法存在如下问题：1.对于制造部门来说，在实际的检查中，往往发现机台组(EQP Group，由多个同型机台组成)有大量的在制品，但机台是处于闲置状态的，究其原因是机台中存在晶圆装卸台非正常(即不合理)的闲置导致的；2.该方法依然不能区分晶圆装卸台是正常闲置还是非正常闲置；3.在整个生产线上有多种机台，各机台的特性不同，判断晶圆装卸台是否属于非正常闲置不能一概而论。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种晶圆装卸台效率监控方法，用于解决现有技术中在晶圆装卸台闲置时无法区分是正常闲置还是非正常闲置，从而导致生产线效率低下的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种晶圆装卸台效率监控方法，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：

1)结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；

2)当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。

作为本发明晶圆装卸台效率监控方法的一种优选的方案，所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，判断所述机台的晶圆装卸台是否均闲置；若所述机台的晶圆装卸台并非均闲置，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台的晶圆装卸台均闲置，检测所述机台限制是否有在制品可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若所述机台限制有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。

作为本发明晶圆装卸台效率监控方法的一种优选的方案，所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，检测对应于在制品的某一产品批次的配方顺序中所使用的反应腔室中是否有至少一个反应腔室处于闲置状态，若没有反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若有至少一个反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。