[发明专利]一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构

说明书

技术领域

本发明涉及光学领域，具体涉及一种光刻投影物镜中可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构。

背景技术

光刻投影技术是大规模集成电路制造技术和微光学、微机械技术的先导和基础，决定了集成电路的集成度。集成电路芯片的不同深度刻蚀不同的图样，以满足高集成度的需要，要求物镜系统具有可调节数值孔径大小的功能。改变数值孔径大小往往通过可变光阑机构得以实现。可变光阑一般采用电机带动齿轮传递旋转运动，由于光阑机构较大，电机较小，其齿轮传动的减速比往往较大，次级齿轮和光阑机构的质量和转动惯量对于主动齿轮和电机来说是较大的负载，在物镜运输和搬运过程中，光阑机构的惯性运动有可能导致电机受到较大冲击并受迫转动，导致电机损坏；光阑机构的惯性运动也有可能使其内部机构发生损坏、脱落，划伤物镜镜片表面，存在极大的危险，将直接导致投影物镜数值孔径调节精度劣化甚至光阑机构和物镜自身存在极大的破坏危险。

发明内容

本发明旨在克服现有技术存在的缺陷，本发明采用以下技术方案：

一方面，本发明提供了一种可变光阑机构的限位结构。所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮，所述限位结构包括支架面板，限位器以及密封堵头；所述驱动件设置在所述支架面板上；所述齿轮设置在所述驱动件上，并可被所述驱动件驱动；所述限位器设置在所述支架面板上，且可与所述齿轮配合并限制所述齿轮转动；所述密封堵头可设置在所述支架面板上，且所述密封堵头在所述限位器未安装时，设置在所述限位器的安装位置上。

在一些实施例中，所述驱动件为电机。

在一些实施例中，所述限位器包括：限位杆和设置在所述限位杆上的限位连接螺纹；所述限位杆在所述限位器安装在所述支架面板上时与所述齿轮配合，限制所述齿轮转动；所述限位连接螺纹与所述支架面板配合，使所述限位杆可固定设置在所述支架面板上。

在一些实施例中，所述限位器还包括：方形槽，所述方形槽设置在所述限位杆的一端端面上。

在一些实施例中，所述密封堵头上设置有螺纹。

在一些实施例中，所述密封堵头的一端的端面上设置有方形槽。

在一些实施例中，所述支架面板上设置有与所述限位杆连接螺纹配合的限位器螺纹孔。

在一些实施例中，所述齿轮包括轮齿主体，所述轮齿主体的相邻齿面用于与限位器的限位杆配合。

在一些实施例中，所述限位器与所述支架面板之间设置有密封胶。

另一方面，本发明提供了一种可变光阑机构。所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮以及如前所述的限位结构。

本发明的技术效果：本发明提供的可变光阑机构的限位结构能避免光刻投影物镜在运输和搬运过程中由于冲击和惯性运动导致电机和可变光阑机构损坏的问题，进而降低光刻投影物镜的数值孔径调节精度劣化甚至物镜自身损坏的危险。

附图说明

图1为根据本发明一个实施例的可变光阑机构的结构示意图；

图2为图1的局部剖开示意图；

图3为根据本发明一个实施例的可变光阑机构的全剖示意图；

图4为根据本发明一个实施例的可变光阑机构的限位结构中的支架面板的正视全剖示意图；

图5为根据本发明一个实施例的可变光阑机构的限位结构中的限位器的结构示意图；

图6为根据本发明一个实施例的可变光阑机构的限位结构中的密封堵头的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，而不构成对本发明的限制。

参考图1-图6所示，是本发明提供的一种可变光阑机构的限位结构。所述可变光阑机构100包括驱动件1和齿轮3，所述限位结构包括支架面板2，限位器4以及密封堵头5；所述驱动件1设置在所述支架面板2上；所述齿轮3设置在所述驱动件1上，并可被所述驱动件1驱动；所述限位器4设置在所述支架面板2上，且可与所述齿轮3配合并限制所述齿轮3转动；所述密封堵头5可设置在所述支架面板2上，且所述密封堵头5在所述限位器4未安装时，设置在所述限位器4的安装位置上。

在一些实施例中，所述驱动件1为电机。