[发明专利]一种喷嘴挡板及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201611132190.8 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106637088B | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 苏志玮 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 板状本体 喷嘴挡板 蒸镀装置 蒸镀材料 蒸气分子 喷嘴 导流板 工作效率 开口设置 喷嘴堵塞 显示装置 蒸镀 堆积 开口 节约 制作 | ||
【权利要求书】：
1.一种喷嘴挡板，其特征在于，包括：
板状本体，具有多个开口；
对应板状本体的每个开口设置的导流板，所述导流板与板状本体连接，用于将蒸镀材料的蒸气分子导至喷嘴的蒸镀范围之外；
所述导流板的末端具有水平导流檐；
所述导流板在所述板状本体表面的投影覆盖对应的所述开口。
2.如权利要求1所述的喷嘴挡板，其特征在于，所述多个开口并列排布，与所述多个开口分别对应的导流板包括第一部分导流板和第二部分导流板，所述第一部分导流板和第二部分导流板相对喷嘴中心呈对称设置。
3.如权利要求1所述的喷嘴挡板，其特征在于，板状本体的每个开口对应喷嘴的嘴口设置。
4.如权利要求1所述的喷嘴挡板，其特征在于，所述导流板为直板形导流板。
5.如权利要求1所述的喷嘴挡板，其特征在于，所述导流板与所述板状本体为一体结构，或者所述导流板与所述板状本体可拆卸连接。
6.如权利要求1所述的喷嘴挡板，其特征在于，所述开口为斜开口，所述斜开口的倾斜方向平行于导流板。
7.如权利要求1～6任一项所述的喷嘴挡板，其特征在于，所述板状本体的周边具有朝向喷嘴设置的凸沿。
8.如权利要求1～6任一项所述的喷嘴挡板，其特征在于，所述喷嘴挡板为金属喷嘴挡板。
9.一种蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的喷嘴挡板。
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