[发明专利]一种硅的提纯方法在审

专利信息
申请号: 201611115378.1 申请日: 2016-12-07
公开(公告)号: CN107585770A 公开(公告)日: 2018-01-16
发明(设计)人: 俞豪威;梁庭卫 申请(专利权)人: 安徽爱森能源有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙)34123 代理人: 熊伟
地址: 237200 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 提纯 方法
【权利要求书】:

1.一种硅的提纯方法,其特征在于,该提纯的工艺包括以下步骤:

(1)硅料表面清理,将待提纯的硅料的表面通过碳酸氢钠溶液进行清洗,然后放置在阴凉通风处进行表面干燥,且阴凉干燥的时间设为1—1.5h。

(2)硅料加热,将待提纯的置于封闭的提纯箱内后抽成真空,当提纯箱内的气压降低到10-2Pa时开始对硅料进行加热,直至加热到硅料融化成硅料熔体。

(3)硅料提纯,将硅料熔体的表面温度达到830—850℃时,且硅料内部的温度达到820℃,然后保持恒温状态,在通过析出进行提纯,然后将析出的高纯度的硅料结晶进行进行缓慢加热,且加热的速度随结晶量的增加进行调整,使结晶成型并且进行收集。

(4)冷却回温处理,将提纯完成后的硅料进行冷却处理,在冷却时分多次进行多级冷却。

2.根据权利要求1所述的一种硅的提纯方法,其特征在于,所述的步骤1中硅料表面清理时碳酸氢钠溶液的浓度为7—10%。

3.根据权利要求1所述的一种硅的提纯方法,其特征在于,所述的步骤3中的提纯后的硅料的表面裂纹和掉角的不良度<2%。

4.根据权利要求1所述的一种硅的提纯方法,其特征在于,所述的步骤3中的提纯后的硅料的杂质含量<1%。

5.根据权利要求1所述的一种硅的提纯方法,其特征在于,所述的步骤4中对提纯后的硅料进行冷却处理时进行多次多级冷却,冷却的速度为10—20℃/min,当温度降低到80—90℃时放置到空气中进行自由冷却。

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