[发明专利]用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置在审
申请号: | 201611083551.4 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN106670931A | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 傅林坚;沈文杰;严浩;周锡峰;宛沪生;王凯;何守龙;邱敏秀 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B41/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 单晶硅 棒滚磨 一体机 自动 机械手 装置 | ||
【说明书】:
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