[发明专利]感应的位置测量机构

权利要求书

1.感应的位置测量机构，用于绝对的位置测量，

所述感应的位置测量机构包括

- 标尺单元（1、100），带有在测量方向（X）上伸延的第一测量刻度（11）和平行于所述第一测量刻度伸延的且对置于所述第一测量刻度（11）的第二测量刻度（12）；

- 扫描单元（2、2.1），其布置于在所述第一测量刻度（11）与所述第二测量刻度（12）之间的间隙中并且为了所述位置测量能够相对于所述标尺单元（1、100）在测量方向（X）上移位，其中，所述扫描单元（2、2.1）包括第一线圈组件（21）用于扫描所述第一测量刻度（11）且用于产生取决于位置的第一扫描信号（S1、S11）并且所述扫描单元（2、2.1）包括对置于所述第一线圈组件（21）的第二线圈组件（22）用于扫描所述第二测量刻度（12）且用于产生取决于位置的第二扫描信号（S2、S21），

其特征在于，

在所述第一线圈组件（21）与所述第二线圈组件（22）之间布置有至少一个由软磁的材料制成的中间层（6、6.1）。

2.根据权利要求1所述的感应的位置测量机构，其中，所述中间层（6）由软磁的核芯（7）和在两侧布置在所述核芯上的不能导电的软磁的覆层（8、9）构成。

3.根据权利要求2所述的感应的位置测量机构，其中，所述核芯（7）由软磁的能够导电的金属构成。

4.根据权利要求2或3所述的感应的位置测量机构，其中，所述核芯（7）的导磁率大于所述覆层（8、9）的导磁率。

5.根据权利要求2或3所述的感应的位置测量机构，其中，所述覆层（8、9）分别包括不能导电的基体材料，软磁的颗粒嵌入到所述基体材料中。

6.根据权利要求2或3所述的感应的位置测量机构，其中，所述核芯（7）由钢制成并且所述覆层（8、9）分别为由磁通场定向材料制成的薄膜。

7.根据权利要求1所述的感应的位置测量机构，其中，所述中间层（6.1）包括镍铁高导磁合金。

8.根据权利要求1所述的感应的位置测量机构，其中，所述第一测量刻度（11）为带有第一刻度周期（P1）的周期性的增量刻度并且所述第二测量刻度（12）为带有第二刻度周期（P2）的周期性的增量刻度，所述第二刻度周期轻微地与所述第一刻度周期（P1）不同并且所述绝对的位置测量基于游尺原理。

9.根据权利要求8所述的感应的位置测量机构，其中，所述第一线圈组件（21）和所述第二线圈组件（22）分别具有励磁绕组（210、220）和多个互相相位移位的周期性的扫描绕组（211、212、221、222）用于同时扫描配属于其的测量刻度（11、12）的多个刻度周期。

10.根据权利要求1所述的感应的位置测量机构，其中，所述扫描单元（2、2.1）包括评估单元（3），所述评估单元设计成由所述取决于位置的第一扫描信号（S1、S11）和所述取决于位置的第二扫描信号（S2、S21）形成合成的绝对位置（AP）并且在输出处提供为数字的字符。

11.根据权利要求1所述的感应的位置测量机构，其中，所述标尺单元（1）为U型材并且所述第一测量刻度（11）和所述第二测量刻度（12）彼此对置地构造在所述U型材的两个相对彼此平行伸延的支腿处。

12.根据权利要求11所述的感应的位置测量机构，其中，所述第一测量刻度（11）和所述第二测量刻度（12）由一系列的在所述U型材的支腿中的齿和齿空隙构成。