[发明专利]一种基于微纳光纤的空间磁场传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种基于微纳光纤的空间磁场传感器的制作方法，其特征是：所述的基于微纳光纤的空间磁场传感器，至少包括：微纳光纤(1)和磁光玻璃薄片(2)，所述的微纳光纤(1)由单模光纤(4)通过熔融拉锥工艺制成两端直径不变，中间为微纳量级的腰区结构，将制的中间为微纳光纤(1)的腰区与磁光玻璃薄片(2)通过光学胶(3)黏贴制成波导耦合结构；

所述微纳光纤(1)的腰区直径为2μm，微纳光纤(1)的腰区长度大于等于磁光玻璃薄片(2)长度；

所述磁光玻璃薄片(2)的尺寸为10mm×5mm×0.1mm，耦合间距为0.4μm；

所述光学胶(3)为硅凝胶，折射率为1.40；

该方法至少包括如下步骤：

1)通过熔融拉锥工艺将单模光纤(4)制成微纳量级的腰区结构，通过熔融拉锥工艺将单模光纤(4)拉锥到两端直径不变，中间形成带尾纤的微纳光纤(1)，微纳光纤(1)的拉锥长度具有不同腰区直径；

2)将制得微纳光纤(1)的腰区置于在磁光玻璃薄片(2)上，并控制微纳光纤(1)与磁光玻璃薄片(2)之间的耦合间距使其形成弱波导耦合结构；

3)将步骤2)中得到的耦合结构整体固定在玻璃基底(5)上，用低折射率的光学胶(3)将微纳光纤(1)与磁光玻璃耦合结构密封封装，待光学胶(3)固化后，传感器制备完成；

微纳光纤的两端通过绝热拉锥与常规单模光纤不间断相连，无任何光路耦合环节。