[发明专利]一种白光干涉及激光扫描结合的形貌测量装置有效
| 申请号： | 201611062453.2 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106595515B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 张效栋;房丰洲;曾臻;高慧敏;武光创 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 白光 涉及 激光 扫描 结合 形貌 测量 装置 | ||
1.一种白光干涉及激光扫描结合的形貌测量装置，包括三维运动平台和置于其上的白光-激光测量系统，其特征在于，白光-激光测量系统包括白光光源(1)、三个分光棱镜、显微目镜(5)、显微物镜(6)、干涉物镜(7)、四象限光电传感器(8)、激光器(9)和图像传感器(10)，具有两条测量光路和激光测量光路，其中，
白光干涉测量光路为：由白光光源(1)发出光束平行投射到第一分光棱镜(2)后分成两束，第一束光被第一分光棱镜(2)转折90°经过干涉物镜(7)投射到被测表面(11)，反射的光经干涉物镜(7)和第一分光棱镜(2)回到显微目镜(5)，第一束光和其反射的光在显微目镜(5)视场中发生干涉，图像传感器(10)获取干涉条纹以获得待测区域的表面形貌信息；第二束光穿过第一分光棱镜(2)，依次经过第二分光棱镜(3)、第三分光棱镜(4)和显微物镜(6)，汇聚于被测表面(11)，经被测表面(11)反射后分别经过显微物镜(6)、第三分光棱镜(4)、第二分光棱镜(3)、第一分光棱镜(2)和显微目镜(5)，成像到图像传感器(10)，负责为激光测量光路提供照明背景光；
激光测量光路为：由激光器(9)出发经第三分光棱镜(4)转折，通过显微物镜(6)聚焦至被测表面(11)，经被测表面(11)反射后，分别经过显微物镜(6)、第三分光棱镜(4)和第二分光棱镜(3)，投射至四象限光电传感器(8)用于被测表面(11)高度信息的测量；激光器(9)经被测表面(11)反射回来的光通过第二分光棱镜(3)转折，通过第一分光棱镜(2)和显微目镜(5)后，和由白光光源(1)形成的照明背景光一起被成像至图像传感器(10)，形成激光测量时的采集图。
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