[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，包括：

传感器芯片，其具备传感器隔膜、第1保持构件以及第2保持构件，所述传感器隔膜输出与一边的面以及另一边的面所承受的压力差相应的信号，所述第1保持构件使其边缘部与所述传感器隔膜一边的面相对并接合，并且具有将被测流体的压力向该传感器隔膜的一边的面传导的第1导压孔，所述第2保持构件使其边缘部与所述传感器隔膜的另一边的面相对并接合，并且具有使该传感器隔膜的另一边的面向大气开放的第2导压孔；

机身，所述传感器芯片以导入所述被测流体的压力的一侧的面作为接合面而与该机身接合；

受压隔膜，其被设置于所述机身，承受来自所述被测流体的压力，

所述机身在所述受压隔膜和所述传感器芯片的接合面之间具备封入室，所述封入室封入有通过所述第1保持构件的第1导压孔将所述受压隔膜承受的来自所述被测流体的压力传导至所述传感器隔膜的一边的面的压力传导媒介。

2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述第1保持构件与所述第2保持构件的夹持所述传感器隔膜并相对的面的面积不同，

输出与所述压力差相应的信号的引线从位于所述第1保持构件以及所述第2保持构件中向外侧露出的保持构件的边缘部的所述传感器隔膜的面被导出。

3.如权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

所述第1保持构件和所述第2保持构件的夹持所述传感器隔膜并相对的面的面积为：

相比于所述第2保持构件，所述第1保持构件一方较小。

4.如权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

所述第1保持构件和所述第2保持构件的夹持所述传感器隔膜并相对的面的面积为：

相比于所述第1保持构件，所述第2保持构件一方较小。

5.如权利要求2～4中的任一项所述的压力传感器，其特征在于，

在所述机身设有与从所述传感器隔膜导出的引线连接的连接部。

6.如权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，

所述连接部为设有与所述引线连接的电极引脚的中继端子。

7.如权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，

所述连接部为形成有与所述引线连接的电路的基板。