[发明专利]堆叠式涂胶显影系统

权利要求书

1.一种堆叠式涂胶显影系统，其特征在于：包括片盒站(1)、增粘工艺站(2)、第一工艺站组、第二工艺站组、接口站(5)、光刻机(6)和多个传输机器人，其中片盒站(1)设有片盒(9)和片盒卸装料机器人(10)，增粘工艺站(2)设有第一上下层传输机器人(11)和增粘工艺塔(12)，且所述增粘工艺塔(12)上设有增粘单元(25)和中转单元(26)，第一工艺站组设有第一涂胶工艺机器人(23)、第一显影工艺机器人(22)、第一热处理工艺塔(21)和第一涂胶显影工艺塔(13)，且所述第一显影工艺机器人(22)与第一涂胶工艺机器人(23)叠置，晶圆通过所述片盒卸装料机器人(10)在所述片盒(9)、增粘工艺塔(12)和第一热处理工艺塔(21)间传送，晶圆通过所述第一上下层传输机器人(11)在所述增粘工艺塔(12)中的增粘单元(25)和中转单元(26)间传送，晶圆通过所述第一显影工艺机器人(22)与第一涂胶工艺机器人(23)在所述第一热处理工艺塔(21)和第一涂胶显影工艺塔(13)间传送，所述第二工艺站组设有第二涂胶工艺机器人(24)、第二显影工艺机器人(19)、第二热处理工艺塔(20)和第二涂胶显影工艺塔(14)，且第二显影工艺机器人(19)和第二涂胶工艺机器人(24)叠置，在所述第一热处理工艺塔(21)和第二热处理工艺塔(20)上设有传递晶圆的传片单元(30)，晶圆通过所述第二涂胶工艺机器人(24)和第二显影工艺机器人(19)在所述第二热处理工艺塔(20)和第二涂胶显影工艺塔(14)间传送，接口站(5)设有第二上下层运输机器人(18)、边缘曝光单元(17)、接口站传送机器人(16)和晶圆中转站塔(15)，晶圆通过所述第二上下层运输机器人(18)在第二显影工艺机器人(19)、第二涂胶工艺机器人(24)以及晶圆中转站塔(15)间传送，并且晶圆还通过所述第二上下层运输机器人(18)在所述晶圆中转站塔(15)和边缘曝光单元(17)间传送，晶圆通过所述接口站传送机器人(16)在所述晶圆中转站塔(15)和光刻机(6)间传送；

所述片盒站(1)和增粘工艺站(2)设置于系统的前端，第一工艺站组和第二工艺站组依次设置于系统的中部，接口站(5)和光刻机(6)设置于系统的后端；所述第一显影工艺机器人(22)与第一涂胶工艺机器人(23)叠置设于第一热处理工艺塔(21)和第一涂胶显影工艺塔(13)之间靠近所述增粘工艺站(2)的一端；所述第二显影工艺机器人(19)和第二涂胶工艺机器人(24)叠置设于第二热处理工艺塔(20)和第二涂胶显影工艺塔(14)之间靠近所述接口站(5)的一端；第一热处理工艺塔(21)和第二热处理工艺塔(20)设置于系统的同一侧，第一涂胶显影工艺塔(13)和第二涂胶显影工艺塔(14)设置于系统的另一侧。

2.根据权利要求1所述的堆叠式涂胶显影系统，其特征在于：所述第一热处理工艺塔(21)和第二热处理工艺塔(20)的结构相同，均阵列均布有多个单元装载空间(29)，每个单元装载空间(29)中设有加热单元(27)、精密制冷单元(28)或传片单元(30)。

3.根据权利要求1或2所述的堆叠式涂胶显影系统，其特征在于：所述传片单元(30)包括传片水平移动轴座(301)和真空吸盘(302)，其中所述传片水平移动轴座(301)前后两部分分别设置在不同的热处理工艺塔上，真空吸盘(302)可移动地设置于所述传片水平移动轴座(301)上。

4.根据权利要求1所述的堆叠式涂胶显影系统，其特征在于：所述第一涂胶显影工艺塔(13)和第二涂胶显影工艺塔(14)结构相同，均为多层垂直结构，其中下部各层设有涂胶单元(31)，上部各层均设有显影单元(32)。

5.根据权利要求4所述的堆叠式涂胶显影系统，其特征在于：所述涂胶单元(31)为三个涂胶腔体(312)共用一个胶臂(311)的单元结构；所述显影单元(32)为三个显影腔体(322)共用两个显影臂(321)的单元结构。

6.根据权利要求1所述的堆叠式涂胶显影系统，其特征在于：所述增粘工艺塔(12)为层叠结构，各层增粘单元(25)设置于增粘工艺塔(12)中部，增粘工艺塔(12)的顶端和底端各层则分别设有中转单元(26)。