[发明专利]消除氧气对光固化影响的方法、系统、装置及光固化设备

权利要求书

1.一种消除氧气对光固化影响的方法，其特征在于，包括：

向腔体充入第一气体；

当检测到腔体中的氧气低于预设值时，停止向腔体充入第一气体，同时向腔体中的工作平面上方充入第二气体；

其中，第一气体和第二气体均为能够消除氧气对光固化反应过程影响的气体，且第二气体的充入流量值小于第一气体的充入流量值。

2.根据权利要求1所述的消除氧气对光固化影响的方法，其特征在于，所述第一气体与第二气体的充入流量比值为5:1。

3.一种消除氧气对光固化影响的系统，其特征在于，包括：

第一气体充入单元，用于向腔体充入第一气体；以及

第二气体充入单元，用于当检测到腔体中的氧气低于预设值时，停止向腔体充入第一气体，同时向腔体中的工作平面上方充入第二气体；

其中，第一气体和第二气体均为能够消除氧气对光固化反应过程影响的气体，且第二气体的充入流量值小于第一气体的充入流量值。

4.一种实现权利要求1所述的消除氧气对光固化影响的方法的装置，其特征在于，包括氧传感器、电磁阀、调节阀、第一气体管道、第二气体管道、第三气体管道以及分别与氧传感器、电磁阀、调节阀相连的控制系统，能够消除氧气对光固化反应过程影响的气体通过第一气体管道进口充入，第一气体管道出口通过电磁阀分别与第二气体管道进口、第三气体管道进口相连，第二气体管道出口与贯穿腔体壁的第一通孔相连，以用于向腔体充入第一气体；第三气体管道贯穿腔体壁并使得第三气体管道出口与气体输出机构的进口相连，且调节阀设置在第三气体管道内，以使经过调节阀调节后的第二气体通过气体输出机构的出口向腔体中的工作平面上方输出，其中，第二气体的充入流量值小于第一气体的充入流量值。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第三气体管道为双支路的盘环状结构，且每一支路具有至少一个盘环管和一个出口。

6.根据权利要求4或5所述的装置，其特征在于，所述气体输出机构为两个具有若干个出气孔的海绵网板，每个海绵网板的进气孔与第三气体管道的一个出口相通，海绵网板设置在工作平面上方。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一气体管道内设有减压阀和压力表，所述控制系统根据压力表显示的压力数值对减压阀进行控制。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第一气体管道内还设有用于检测气体流量的流量计。

9.一种光固化设备，其特征在于，包括腔体以及权利要求4-8任一项所述的装置。

10.根据权利要求9所述的光固化设备，其特征在于，所述腔体外设有排气管，所述腔体壁设有第二通孔，所述第二通孔与排气管相连，以用于向腔体外排除废气。