[发明专利]用于空间光通信具有位敏薄膜栅极的微通道光电倍增管有效
| 申请号： | 201611011295.8 | 申请日： | 2016-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107578978B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 母一宁;刘春阳;李野 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | H01J43/12 | 分类号： | H01J43/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 空间 光通信 具有 薄膜 栅极 通道 光电倍增管 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于空间光通信具有位敏薄膜栅极的微通道光电倍增管，其组成部分包括窗口(1)、光电阴极(2)、微通道板(3)、阳极(8)，微通道板(3)有多级，在光电阴极(2)、各级微通道板(3)、阳极(8)之间加有方向相同的电压，由阳极(8)输出光电流，阳极微通道板(5)位于最后一级微通道板(3)与阳极(8)之间；其特征在于，作为位敏薄膜栅极的位敏阳极(6)位于在阳极微通道板(5)正面，绝缘膜(9)位于位敏阳极(6)、阳极微通道板(5)正面金属膜(10)之间，位敏阳极(6)及绝缘膜(9)均为网状膜，网孔与阳极微通道板(5)的微通道对应，由位敏阳极(6)输出激光通信定位光光电流，由阳极(8)输出激光通信信号光光电流。
2.根据权利要求1所述的用于空间光通信具有位敏薄膜栅极的微通道光电倍增管，其特征在于，所述绝缘膜(9)为微米量级厚度的SiO2层，膜层电阻大于20MΩ/□。
3.根据权利要求1所述的用于空间光通信具有位敏薄膜栅极的微通道光电倍增管，其特征在于，所述位敏阳极(6)为2μm厚的铜膜；所述阳极(8)为0.5mm厚的铜片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春理工大学，未经长春理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611011295.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
