[发明专利]振动装置、振动装置的制造方法、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动装置，其特征在于，

具有第一振动臂，

所述第一振动臂具备：

表面以及背面；

贯穿孔，其贯穿所述表面以及所述背面；

壁部，其隔着所述贯穿孔而位于两侧，

所述壁部具备两个电极，该两个电极分别被配置在位于所述贯穿孔的所述壁部侧的两个内侧面上，并被施加相互不同的电位，且沿着所述表面以及所述背面而并排延伸，

各个所述电极中的位于一个所述内侧面的所述表面侧的第一电极和位于另一个所述内侧面的所述背面侧的第二电极通过第一配线而被短路，所述第一配线被配置在对两个所述内侧面进行连接的一个端侧面上。

2.如权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

所述电极具备第二配线，所述第二配线将位于所述一个所述内侧面的所述表面侧的第三电极和位于所述另一个所述内侧面的所述背面侧的第四电极短路，

所述第二配线被配置在对两个所述内侧面进行连接的另一个端侧面上。

3.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

所述端侧面的宽度具有与两个所述内侧面之间的宽度相比较窄的部分。

4.如权利要求1至3中任一项所述的振动装置，其特征在于，

具有基部和从所述基部延伸出的第二振动臂，

所述第一振动臂从所述基部起向与所述第二振动臂的延伸方向相反的方向延伸。

5.如权利要求1至4中任一项所述的振动装置，其特征在于，

具有至少对所述第一振动臂进行收纳的封装件。

6.一种振动装置的制造方法，其特征在于，

所述振动装置具有第一振动臂，

所述第一振动臂具备：

表面以及背面；

贯穿孔，其贯穿所述表面以及所述背面；

壁部，其隔着所述贯穿孔而位于两侧，

所述壁部具备两个电极，该两个电极分别被配置在位于所述贯穿孔的所述壁部侧的两个内侧面上，并被施加相互不同的电位，且沿着所述表面以及所述背面而并排延伸，

各个所述电极具备第一配线，该第一配线将位于一个所述内侧面的所述表面侧的第一电极和位于另一个所述内侧面的所述背面侧的第二电极短路，

所述第一配线被配置在对两个所述内侧面进行连接的所述贯穿孔的一个端侧面上，

所述振动装置的制造方法包括：

在形成有所述贯穿孔的所述第一振动臂的露出面上形成金属膜的工序；

在所述端侧面和所述内侧面上对所述金属膜进行分割而形成所述电极的工序。

7.如权利要求6所述的振动装置的制造方法，其特征在于，

对所述金属膜进行分割而形成所述电极的工序包括四次曝光工序。

8.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1至5中任一项所述的振动装置。

9.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1至5中任一项所述的振动装置。