[发明专利]机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台在审

专利信息
申请号: 201610969556.0 申请日: 2016-10-28
公开(公告)号: CN108015665A 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 孙鹏;夏林华;赵雪峰;田国军;周维娜 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: B24B37/005 分类号: B24B37/005;B24B37/34;B24B49/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 机械 研磨 机台 异常 侦测 方法
【权利要求书】:

1.一种机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,包括:噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元;其中,

所述噪声传感器安装于所述机械研磨机台上,用于实时采集机台运行的噪音的音频信号;

所述数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号;

所述存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析,提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱,并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常;

所述反馈单元用于向所述控制单元反馈异常的音频信号;

所述控制单元根据异常的音频信号进行异常处理。

2.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,还包括灵敏度调节器,所述灵敏度调节器用于调节所述噪声传感器采集到的音频信号的强度,并传输至所述数模转换单元。

3.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,还包括与存储分析单元相连接的用户界面,所述用户界面用于输出所述振幅图谱、频率图谱以及音频信号。

4.如权利要求3所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,还包括电源,所述电源分别向所述噪声传感器、灵敏度调节器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元、控制单元以及用户界面供电。

5.如权利要求3所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,所述用户界面包括音频输出端口、频谱显示器与用户调试端口;其中,

所述音频输出端口用于连接耳机或者音频存储设备;

所述频谱显示器用于显示振幅图谱和频率图谱;

所述用户调试端口用于调试所述侦测仪的性能参数。

6.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,所述灵敏度调节器内设置有增益开关。

7.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,所述频谱分析包括:根据数字信号中的波形信息,采用离散傅里叶变化法得到单位时间内的频率图谱。

8.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,所述机械研磨机台异常侦测仪首次使用时,采集一段时间内的音频信号作为基础噪音,通过所述基础噪音校订,确定所述基础噪音所在的频率范围,并收集所述基础噪音的振幅图形。

9.如权利要求8所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,所述存储分析单元存储有所述基础噪音,所述存储分析单元采用减差法分析音频信号是否存在异常。

10.如权利要求9所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,与所述基础噪音频率峰值位置相同或振幅图形匹配的噪音为正常噪音,与所述基础噪音频率峰值位置不同或振幅图形不匹配的噪音为异常噪音。

11.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪,其特征在于,所述异常处理包括自动暂停机台和提醒用户检查异常原因。

12.一种机械研磨机台,其特征在于,包含如权利要求1-11任一项所述的机械研磨机台异常侦测仪,还包含研磨件,所述机械研磨机台异常侦测仪设置于所述研磨件周边。

13.一种机械研磨机台异常侦测方法,其特征在于,包括:

实时采集机台运行的噪音的音频信号;

将所述音频信号转化为数字信号;

对所述数字信号进行存储并进行频谱分析,提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱,并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常;

向所述控制单元反馈异常的音频信号;

根据异常的音频信号进行异常处理。

14.如权利要求13所述的机械研磨机台异常侦测方法,其特征在于,在实时采集机台运行的噪音的音频信号之后,还包括:调节采集到的音频信号的强度。

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