[发明专利]一种中性束注入器离子源场反向位形等离子体射频驱动器在审
| 申请号： | 201610857314.2 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN106304603A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李军;胡纯栋;吴斌;刘智民;谢远来;吕波;谢亚红;韦江龙;顾玉明;刘胜;蒋才超;王进芳;陈玉庆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人： | 朱荣 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 中性 注入 离子源 反向 等离子体 射频 驱动器 | ||
【权利要求书】：
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