专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种射频离子源启动灯丝装置-CN202020160723.9有效
  • 顾玉明;谢亚红;韦江龙;李军;谢远来;胡纯栋;梁立振;蒋才超;许永建;邑伟 - 中国科学院合肥物质科学研究院
  • 2020-02-11 - 2020-07-28 - H01J27/18
  • 本实用新型提供一种射频离子源启动灯丝装置,包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板;所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下法兰绝缘压板上,整体再安装在下法兰盖板上;压紧螺栓将上法兰盖板和上法兰绝缘压板安装在下法兰盖板上,通过拧紧压紧螺栓压紧第一真空密封圈、第二真空密封圈、第三真空密封圈实现真空密封;绝缘陶瓷通过固定钼座安装在下法兰盖板上;其中,启动灯丝装置采用钼棒作为脉冲高压正极,钼座作为脉冲高压负极,利用高压击穿电离建立等离子体,同时充当进气装置安装在驱动盖板中间,避免等离子体放电的不均匀性。
  • 一种射频离子源启动灯丝装置

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