[发明专利]线性电动机装置、线性电动机装置的控制方法

说明书

一种线性电动机装置具备：线性电动机；和使该线性电动机的可动元件移动来对加压对象物施加压力的控制部。控制部基于位置控制，使可动元件以预先确定的第1速度朝向加压对象物移动之后，在可动元件对加压对象物开始施加压力时，进行使可动元件减速至比第1速度慢且施加到加压对象物的压力变为规定的压力以下的第2速度来移动的控制，使可动元件移动直到流过线性电动机的电流变为预先确定的电流限制值以上为止。

本申请是国际申请日为2012年12月5日、国家申请号为201280059857.X的发明申请的分案申请，该申请的发明创造名称为线性电动机装置、线性电动机装置的控制方法。

技术领域

本发明涉及线性电动机装置、线性电动机装置的控制方法。

本申请基于2011年12月7日在日本申请的特愿2011-267938号及2012年11月9日在日本申请的特愿2012-247400号主张优先权，并在此援引其内容。

背景技术

在基板上安装电子部件等工件时，使用向基板按压工件的工作装置。在这种工作装置中，作为按压工件的手段，使用线性电动机等(专利文献1)。

在这种工作装置中，为了向基板可靠地安装工件，需要以一定值以上的负荷(压力)按压工件。此时，为了防止工件和基板的破损，要求使负荷尽量小。在工作装置中，要求高精度地控制相对于工件的负荷。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2009-194015号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1记载的技术使用测量相对于工件的负荷的负荷检测器，基于从负荷检测器得到的信息，进行对线性电动机的控制。因此，在负荷检测器的安装位置偏离的情况、或负荷检测器的检测精度有较大的误差的情况下，存在控制相对于工件的负荷的精度降低的问题。

本发明的目的在于提供一种无需使用测量相对于工件等加压对象物的负荷的传感器就能够提高相对于加压对象物的按压控制的精度的线性电动机装置及线性电动机装置的控制方法。

用于解决问题的手段

本发明的线性电动机装置的实施方式是具备线性电动机、和移动该线性电动机的可动元件来对加压对象物施加负荷的控制部的线性电动机装置，基于位置控制，使所述可动元件以预先确定的第1速度朝向所述加压对象物移动之后，在所述可动元件对所述加压对象物开始施加压力时，进行使所述可动元件减速至比所述第1速度慢且施加到所述加压对象物的压力变为规定的压力以下的第2速度来移动的控制，使所述可动元件以所述第2速度移动直到在所述线性电动机中流动的电流变为预先确定的电流限制值以上为止。

本发明的线性电动机装置的控制方法的实施方式中，线性电动机装置具备：线性电动机、和使该线性电动机的可动元件移动来对加压对象物施加压力的控制部，该线性电动机装置的控制方法具有如下的步骤：基于位置控制，使所述可动元件以预先确定的第1速度朝向所述加压对象物移动之后，在所述可动元件对所述加压对象物开始施加压力时，进行使所述可动元件减速至比所述第1速度慢且施加到所述加压对象物的压力变为规定的压力以下的第2速度来移动的控制，使所述可动元件以所述第2速度移动直到在所述线性电动机中流动的电流变为预先确定的电流限制值以上为止。

发明效果

根据该发明，线性电动机装置在可动元件与加压对象物(工件)接触之前使可动元件减速至比第1速度慢的第2速度，从而能够在使加压对象物免受不必要的冲击的情况下向加压对象物按压可动元件。因此，能够提高对加压对象物的按压控制的精度。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式中的工作装置1的结构的示意框图。