[发明专利]一种基于孔径型导电探针的超局域化光电流扫描成像系统在审
| 申请号： | 201610818607.X | 申请日： | 2016-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN106442432A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 李敬;孟祥敏;夏静;方金云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司11257 | 代理人： | 付生辉;段俊峰 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 孔径 导电 探针 局域 电流扫描 成像 系统 | ||
【说明书】：
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