[发明专利]光栅划刻机及其工作台的锁紧装置

说明书

本发明公开了一种光栅刻划机工作台的锁紧装置，用于锁紧配合的下导轨和上导轨，包括支座和电磁铁，其中，电磁铁安装在支座上，并且得电后具有磁性，该电磁铁与上导轨相对的部分和与下导轨相对的部分的磁性相反，以吸合上导轨和下导轨。电磁铁得电后与上导轨相对的部分吸合上导轨，与下导轨相对的部分吸合下导轨，并且电磁铁的这两部分的磁性相反，根据磁铁异性相吸的原理，使上导轨和下导轨稳定的配合在一起。通过增加对上导轨和下导轨的锁紧装置，可防止上导轨在下导轨上的振动，提高了刻划光栅精度和性能。本发明还公开了具有上述光栅刻划机工作台的锁紧装置的光栅刻划机。

技术领域

本发明涉及衍射光栅技术领域，具体的说，是涉及一种光栅刻划机及其工作台的锁紧装置。

背景技术

光栅刻划机是制作刻划光栅的母机，间歇式刻划是光栅刻划机重要的工作方式之一，其原理是刻划系统刻划时分度系统静止，刻划系统回程时分度电机分度。在刻划系统刻划时，工作台机构的振动状态是影响刻划光栅性能的重要因素之一。

现有技术中，光栅刻划机所刻划的光栅宽度窄，工作台机构简单，质量轻，内在振动影响小，主要是考虑外在干扰源，并通过气浮隔振平台进行隔离。对于带有宏-微定位的能够承载大尺寸衍射光栅基地的工作台机构除了隔离外在振动的影响外，内在的振动源引起的振动也不容忽视。目前的工作台机构包括固定设置的下导轨和具有上导轨的工作台主体，上导轨与下导轨配合，实现工作台主体的滑行。实验结果表明，上导轨在下导轨上的振动源会影响光栅的波前质量、鬼线强度等指标，不利于高精度、高性能的刻划光栅研制。

因此，如何提供一种光栅刻划机工作台的锁紧装置，以减缓振动，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种光栅刻划机工作台的锁紧装置，以减缓振动。本发明还提供了具有上述光栅刻划机工作台的锁紧装置的光栅刻划机。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种光栅划刻机工作台的锁紧装置，用于锁紧配合的导轨副，所述导轨副包括下导轨和上导轨，锁紧装置包括：

支座；

安装在所述支座上的电磁铁，所述电磁铁得电后具有磁性，并且所述电磁铁与所述上导轨相对的部分和与所述下导轨相对的部分的磁性相反，用于吸合所述上导轨和所述下导轨。

优选地，上述的锁紧装置中，所述支座固定在所述上导轨上。

优选地，上述的锁紧装置中，所述电磁铁一端固定有第一连接座，所述支座上固定有第二连接座，所述第二连接座上安装有压板，所述第一连接座与第二连接座通过弹簧片连接。

优选地，上述的锁紧装置中，所述电磁铁具有两个磁性相反的凸起部，两个所述凸起部分别与所述上导轨和所述下导轨平行相对。

优选地，上述的锁紧装置中，还包括用于调节所述电磁铁到所述导轨副之间距离的调节组件。

优选地，上述的锁紧装置中，所述调节组件包括：

固定在所述支座上的调整座；

固定在所述电磁铁上的垫块；

用于调整所述调整座与所述垫块之间距离的调整螺钉，所述调整螺钉一端与所述调整座螺纹连接，所述调整螺钉的另一端与所述垫块相抵。

优选地，上述的锁紧装置中，还包括用于克服所述电磁铁断电时剩磁磁力的切断装置，所述切断装置包括：

安装在所述电磁铁上的拉簧柱；

通过垫圈和螺母安装在所述调整座上的螺柱；

一端与所述拉簧柱连接，另一端与所述螺柱连接的拉簧。