[发明专利]一种基于FPGA的晶圆检测信号提取方法有效
| 申请号： | 201610765470.6 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106248688B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;刘虹遥;马砚忠;张朝前;杨乐;路鑫超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 fpga 检测 信号 提取 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心，未经中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610765470.6/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种非破坏性金属表面缺陷显微检测方法
- 下一篇：复合膜的缺陷判别方法
