[发明专利]声光偏转器与共振扫描器的并行扫描装置有效
申请号: | 201610762078.6 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106290167B | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 唐玉国;贾宏博;周镇乔 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
主分类号: | G01N21/21 | 分类号: | G01N21/21 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 赵勍毅 |
地址: | 215163 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 声光 偏转 共振 扫描器 并行 扫描 装置 | ||
【说明书】:
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