[发明专利]一种改进的真空镀膜设备有效
申请号: | 201610732823.2 | 申请日: | 2016-08-27 |
公开(公告)号: | CN106167893B | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 宋仁祥;宋仁喜;吴义超;谈智勇;汪志彬;宋雪峰 | 申请(专利权)人: | 安徽省宁国市海伟电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人: | 王学勇 |
地址: | 242300 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进 真空镀膜 设备 | ||
【权利要求书】:
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