[发明专利]室温下紫外光辅助溅射制备AZO薄膜的方法在审
| 申请号： | 201610666204.8 | 申请日： | 2016-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN106119797A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王新昌;郭松昌;闫震;李光辉;丁万勇;万志刚;蒋振伟 | 申请（专利权）人： | 河南安彩高科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 郑州立格知识产权代理有限公司 41126 | 代理人： | 王晖 |
| 地址： | 455000*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 室温 紫外光 辅助 溅射 制备 azo 薄膜 方法 | ||
【说明书】：
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