[发明专利]一种基于低压扩散炉的超低浓度POCl3高温扩散方法

权利要求书

1.一种基于低压扩散炉的超低浓度POCl₃高温扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）进舟：将制绒后的硅片送入扩散炉，待扩散炉升温至800℃后，通入氧气和大氮进行预氧化，预氧化时间控制在20min，氧气的流量为1000sccm，大氮的流量为2000sccm，炉内压力为100mbar；

（2）磷沉积：调整扩散炉内温度为800℃，在低压条件下通入携带磷源的小氮、大氮和氧气进行沉积，时间为20min，低压条件下为压力100mbar，POCl₃流量100sccm，小氮的流量为100sccm，大氮的流量为1000sccm，氧气的流量为500sccm；

（3）升温推结：在低压条件下，分别在温度840℃和温度860℃各进行一次推结，携带大氮，时间为20min，低压条件下为压力1bar，大氮的流量为10000sccm；

（4）降温氧化：降温至800℃，通入大氮和氧气进行氧化，时间为20min，大氮的流量为10000 sccm，氧气的流量为5000sccm；

（5）出舟：停止升温，降温后出舟。