[发明专利]一种配置IO通道的方法及半导体加工方法

说明书

本发明提供一种配置IO通道的方法，包括在上位机配置文件中增加字段以区别不同腔室所对应的IO通道参数信息，从而提高了配置IO通道的灵活性。另外，本发明还提供一种半导体加工方法。

技术领域

本发明属于微电子技术领域，涉及一种通过配置文件灵活配置IO通道的方法及半导体加工方法。

背景技术

在半导体加工设备中存在大量的电气设备，这些电气设备需要借助模拟输入和输出通道(以下简称IO通道)进行通信。例如，在刻蚀设备中，上位机需要通过不同的IO通道分别与各腔室进行通信，以实现相应的操作。通常各腔室对应的IO通道的数量和量程范围等信息都相同，因此，只要通过上位机中PMCDigiBoard.xml和TMCDigiBoard.xml配置文件即可对不同的IO通道进行维护。然而，在实际应用中，由于不同腔室需要执行不同工艺，不同腔室所对应的IO通道的数量和量程范围等参数信息均存在较大差异，因此需要针对不同的腔室设定不同数量的IO通道以及对不同IO通道设置不同的量程范围。但是，目前使用的半导体加工设备可配置性差，不能单独针对某个腔室对应的IO通道的数量、量程范围进行配置。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种配置IO通道的方法，其可以提高IO通道的可配置性。

解决上述技术问题的所采用的技术方案是提供一种配置IO通道的方法，包括：

在上位机配置文件中增加字段，所述字段用以区别不同腔室对应的IO通道参数信息。

其中，包括以下步骤：

步骤S1，根据用户需求对下位机配置文件中所述不同腔室所对应的IO通道参数信息进行配置；

步骤S2，在上位机配置文件中增加字段以区别不同腔室所对应的IO通道参数信息；

步骤S3，根据所述下位机配置文件对所述上位机配置文件中的所述IO通道参数信息进行配置；

步骤S4，修改上位机代码以满足上位机的启动条件。

其中，在所述步骤S2和所述步骤S3之间还包括步骤：在所述上位机配置文件中，将属于同一腔室的所述IO通道参数信息按模块分类。

其中，所述模块包括温度模块、腔室模块、工艺气体模块、射频电源模块以及真空模块。

其中，启动所述上位机，在用户界面按照不同的所述腔室和不同的所述模块分类加载所述上位机配置文件，同时读取所述下位机配置文件中与之对应的IO通道参数信息并将其加载到相应的所述用户界面。

其中，在所述用户界面添加或删除所述模块以及修改所述IO通道参数信息。

另外，一种半导体加工方法，包括以下步骤：

步骤S20，按照本发明提供的配置IO通道的方法对上位机和下位机中对应的各IO通道进行配置；

步骤S21，在所述上位机上执行通道控制程序；

步骤S22，所述通道控制程序检测不同腔室是否连接，若否，则表示被检测的腔室不可用；若是，则执行步骤S23；

步骤S23，所述通道控制程序检测上位机配置文件是否成功加载，若否，则抛出报警；若是，则执行步骤S24；

步骤S24，根据所述上位机配置文件读取下位机配置文件中对应的IO通道参数信息，所述上位机配置文件中用字段区别不同腔室对应的IO通道参数信息；

步骤S25，根据读取到的所述IO通道参数信息初始化所述上位机的加载界面。

本发明具有以下有益效果：