[发明专利]充满流体的细长的压力传感器

说明书

压力传感器包括响应于施加的压力而形变的、具有形成在其中的空腔的细长本体。隔离膜片将空腔密封以隔离过程流体，并且被配置为响应于从过程流体施加的过程压力而偏转。响应于隔离膜片的偏转，空腔中的隔离填充流体向细长本体施加压力，由此引起细长本体的偏转。形变传感器耦合到细长本体，并且响应于细长本体的形变来提供指示过程压力的传感器输出。

技术领域

本发明涉及用于感测工业过程中的过程流体的压力的一类压力传感器。更具体地，本发明涉及充满填充流体的压力传感器。

背景技术

工业过程在过程流体等的制造和分发中使用。在这样的工业过程中，测量过程的各种“过程变量”以便监视和/或控制过程的操作是已知的。这样的过程变量包括压力、温度以及流量等等。这些过程变量是使用可以在被称作“现场设备”或“过程变量变送器”的设备中实现的过程变量传感器来测量的。过程变量变送器使用过程变量传感器来测量过程变量，并且向远程位置(例如中央控制室)发送与测量出的过程变量有关的信息。

测量过程流体的压力的各种技术是已知的。这些技术包括直接向过程流体暴露压力传感器的配置、以及压力传感器与过程流体相隔离的配置。然而，存在改进压力测量布置的持续需求，这其中包括能够经受住高压的布置以及抵御强大的冲击或振动的布置。

发明内容

压力传感器包括响应于施加的压力而形变的、具有形成在其中的空腔的细长本体。隔离膜片将空腔密封以隔离过程流体，并且被配置为响应于从过程流体施加的过程压力而偏转。响应于隔离膜片的偏转，空腔中的隔离填充流体向细长本体施加压力，由此引起细长本体的偏转。形变传感器耦合到细长本体，并且响应于细长本体的形变来提供指示过程压力的传感器输出。

提供了本发明内容和说明书摘要，以简化形式来介绍概念选择，该概念选择在具体实施方式中被进一步详细说明。发明内容和说明书摘要不意图标明所请求保护主题的关键特征或基本特征，也不意图用于辅助确定所请求保护主题的范围。

附图说明

图1A是现有技术的细长的压力传感器的斜视图。

图1B是图1A的现有技术的细长压力传感器的截面图。

图2是根据一个示例实施例的细长压力传感器的截面图。

图3是示出了与图2的压力传感器相关布置的形变传感器和参考传感器的示意图。

图4是示出了使用图2的压力传感器配置的过程变量变送器的简化框图。

具体实施方式

提供了压力传感器配置，其中对细长本体的内部空腔施加工业过程的过程压力。施加的压力引起细长本体的偏转。偏转传感器耦合到细长本体，并且被配置为基于细长本体的偏转来提供输出。隔离填充流体在从过程流体向细长本体传递压力的同时，将细长本体与过程流体相隔离。该配置可以用于提供鲁棒的设计，同时还防止过程流体从工业过程中泄漏。