[发明专利]一种基于光学相干干涉的测量系统有效
| 申请号: | 201610477817.7 | 申请日: | 2016-06-27 |
| 公开(公告)号: | CN106017513B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
| 发明(设计)人: | 朱俊 | 申请(专利权)人: | 江苏骏龙光电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01D3/036 | 分类号: | G01D3/036 |
| 代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 顾进 |
| 地址: | 214500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 光学 相干 干涉 测量 系统 | ||
【权利要求书】:
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