[发明专利]一种量子干涉器件结构及其制备方法有效
申请号: | 201610404295.8 | 申请日: | 2016-06-08 |
公开(公告)号: | CN106058036B | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 王浩敏;谢红;李蕾;王慧山;杨鹏;谢晓明;江绵恒 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L39/00 | 分类号: | H01L39/00;H01L39/16;H01L39/24 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 量子 干涉 器件 结构 及其 制备 方法 | ||
【说明书】:
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