[发明专利]一种工作台自适应调平装置

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种工作台自适应调平装置。

【背景技术】

光刻机工作台接触光刻自适应调平机构是光刻机的核心部件对准工作台中的关键机构，该机构直接体现光刻机的研制、生产、制造、装配等技术水平，是光刻机的核心技术。

光刻机接触式光刻基本应用原理：自适应调平机构安装于Z工作台上，自适应调平机构上安装放置晶圆片的载片台。光刻掩膜板固定于工作台上方；工作时，通过控制Z工作台上升接触光刻掩膜板，要求晶圆片紧密接触光刻掩膜板，然后将掩模版的图形复印到晶圆片的涂胶面上；图形复印时要求晶圆片涂胶面与掩模版图形面完全紧密接触，才能在晶圆片涂胶面上获得较好的掩模版上的图形，否则，复印到晶圆片上的图形与掩模版上的图形偏移值比较大，造成废品。由于制造、装配误差以及光刻掩膜板的平面误差，无法保证晶圆片与光刻掩膜版硬接触完全贴合，晶圆片涂胶面与掩模版图形面存在一个楔形角，为了消除这个楔形角，工作台必须具备自适应调平功能，弥补制造、加工等误差，保证晶圆片与光刻掩膜版紧密接触。

目前国内光刻机配置的调平机构，结构复杂，体积大，质量重，只能应用于手动对准定位光刻机，不适用于自动对准定位光刻机上。自动对准定位光刻机，其调平机构安装于电动控制移动的XY工作台平台上。

【发明内容】

为了克服现有技术的不足，本发明提供了一种稳定可靠的工作台自适应调平装置。

一种工作台自适应调平装置，包括绕动机构和弹性机构，所述绕动机构包括调平板，所述弹性机构包括弹性支座、弹性机构转轴、多个弹性机构弹性部件，所述多个弹性机构部件分别设置于所述弹性支座的不同受力位置，所述调平板在受力的状态下对所述弹性支座上对应的某受力位置的弹性机构弹性部件施加压力，所述弹性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可绕所述弹性机构转轴朝所述调平板转动，并通过对应的弹性机构弹性部件对所述调平板施加弹力。

在一个实施例中，

还包括调平板限位部件，所述调平板限位部件用于限制所述调平板在设定高度平面上。

在一个实施例中，

所述弹性支座包括三个弹性支座臂，每个弹性支座臂之间的夹角相同，所述弹性机构弹性部件分别设置于每个弹性支座臂的相同位置。

在一个实施例中，

所述绕动机构还包括弹性机构导向部件，所述导向部件用于防止所述弹性支座在与所述调平板平行的平面上旋转。

在一个实施例中，

所述绕动机构还包括弹性机构导向部件，所述弹性支座上设有导向孔，所述调平板上安装所述弹性机构导向部件，所述弹性机构导向部件位于所述导向孔内，防止所述弹性支座在与所述调平板平行的平面上旋转。

在一个实施例中，

还包括基板，所述绕动机构还包括角接触轴承，所述基板上设有轴承导向支座，所述弹性机构设置在所述基板与调平板之间，所述角接触轴承安装在所述调平板的与基板相对的一面，所述轴承导向支座对所述角接触轴承作滚动导向。

在一个实施例中，

还包括调平板限位部件，所述调平板限位部件用于限制所述调平板在设定高度平面上，所述调平板限位部件包括上限位块和下限位块，所述下限位块固定在所述基板上，所述上限位块固定在所述调平板上，所述上限位块伸入所述下限位块的下方。

在一个实施例中，

所述角接触轴承包括三个均匀分布在调平板的圆周上的角接触轴承，所述轴承导向支座包括三个分别与三个角接触轴承对应的轴承导向支座。

在一个实施例中，

所述弹性机构弹性部件包括球头销、导套、压缩弹簧、弹簧端盖，所述弹性支座上设有导套安装孔，所述导套固定在导套安装孔内，所述球头销的主体位于所述导套内且头部伸出所述导套，所述压缩弹簧设置在所述球头销与弹簧端盖之间，所述弹簧端盖固定在所述弹性支座上。

在一个实施例中，

还包括上球头柱塞和下球头柱塞，所述上球头柱塞固定在所述下限位块上，所述下球头柱塞固定在所述基板上，所述上球头柱塞和下球头柱塞分别与所述上限位块的上表面和下表面相对。

本发明的有益效果是：

本发明其体积小，质量轻，结构稳定可靠，涉及接触式光刻机设备技术领域，对手动对准定位及自动对准定位均适用。本装置结构紧凑，易维护；经试验测试，自适应调平稳定可靠。

【附图说明】

图1是本发明一种实施例的工作台自适应调平装置的爆炸示意图

图2是图1的工作台自适应调平装置结构示意图