[发明专利]一种工作台自适应调平装置有效
申请号: | 201610378576.0 | 申请日: | 2016-05-31 |
公开(公告)号: | CN106066580B | 公开(公告)日: | 2017-10-31 |
发明(设计)人: | 韦日文;王胜利;胡泓 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人: | 杨洪龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工作台 自适应 平装 | ||
1.一种工作台自适应调平装置,其特征是,包括绕动机构和弹性机构,所述绕动机构包括调平板,所述弹性机构包括弹性支座、弹性机构转轴、多个弹性机构弹性部件,所述多个弹性机构部件分别设置于所述弹性支座的不同受力位置,所述弹性支座包括三个弹性支座臂,每个弹性支座臂之间的夹角相同,所述弹性机构弹性部件分别设置于每个弹性支座臂的相同位置,所述调平板在受力的状态下对所述弹性支座上对应的某受力位置的弹性机构弹性部件施加压力,所述弹性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可绕所述弹性机构转轴朝所述调平板转动,并通过对应的弹性机构弹性部件对所述调平板施加弹力。
2.如权利要求1所述的工作台自适应调平装置,其特征是,还包括调平板限位部件,所述调平板限位部件用于限制所述调平板在设定高度平面上。
3.如权利要求1所述的工作台自适应调平装置,其特征是,所述绕动机构还包括弹性机构导向部件,所述导向部件用于防止所述弹性支座在与所述调平板平行的平面上旋转。
4.如权利要求1所述的工作台自适应调平装置,其特征是,所述绕动机构还包括弹性机构导向部件,所述弹性支座上设有导向孔,所述调平板上安装所述弹性机构导向部件,所述弹性机构导向部件位于所述导向孔内,防止所述弹性支座在与所述调平板平行的平面上旋转。
5.如权利要求1所述的工作台自适应调平装置,其特征是,还包括基板,所述绕动机构还包括角接触轴承,所述基板上设有轴承导向支座,所述弹性机构设置在所述基板与调平板之间,所述角接触轴承安装在所述调平板的与基板相对的一面,所述轴承导向支座对所述角接触轴承作滚动导向。
6.如权利要求5所述的工作台自适应调平装置,其特征是,还包括调平板限位部件,所述调平板限位部件用于限制所述调平板在设定高度平面上,所述调平板限位部件包括上限位块和下限位块,所述下限位块固定在所述基板上,所述上限位块固定在所述调平板上,所述上限位块伸入所述下限位块的下方。
7.如权利要求5所述的工作台自适应调平装置,其特征是,所述角接触轴承包括三个均匀分布在调平板的圆周上的角接触轴承,所述轴承导向支座包括三个分别与三个角接触轴承对应的轴承导向支座。
8.如权利要求1所述的工作台自适应调平装置,其特征是,所述弹性机构弹性部件包括球头销、导套、压缩弹簧、弹簧端盖,所述弹性支座上设有导套安装孔,所述导套固定在导套安装孔内,所述球头销的主体位于所述导套内且头部伸出所述导套,所述压缩弹簧设置在所述球头销与弹簧端盖之间,所述弹簧端盖固定在所述弹性支座上。
9.如权利要求6所述的工作台自适应调平装置,其特征是,还包括上球头柱塞和下球头柱塞,所述上球头柱塞固定在所述下限位块上,所述下球头柱塞固定在所述基板上,所述上球头柱塞和下球头柱塞分别与所述上限位块的上表面和下表面相对。
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